宋竹青
- 作品数:5 被引量:25H指数:3
- 供职机构:同济大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程更多>>
- 一种基于薄膜标记层的多层膜结构的表征方法
- 本发明涉及一种基于薄膜标记层的多层膜结构的表征方法,在多层膜结构内特定位置插入合适材料的标记膜层,以在电镜测试过程中确定不同区域膜层的位置,从而利用高倍数电镜对多层膜膜系整体结构实现精确拼接和表征。与现有技术相比,本发明...
- 朱京涛黄秋实宋竹青王占山
- 文献传递
- 磁控溅射制备横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜被引量:7
- 2011年
- 采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到6.57nm,周期梯度为0.03nm/mm。国家同步辐射实验室反射率计的反射率测试结果表明:该横向梯度分布周期多层膜上不同位置,能反射在13.3~15.9nm波段范围内不同波长的极紫外光,反射率为60%~65%。
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- 关键词:MO/SI多层膜磁控溅射反射率
- 极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性被引量:8
- 2013年
- 采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性。对放置在室温和80%相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC两种多层膜结构在相同环境中的损坏状况。对比结果显示:放置4天后,Mg/SiC损坏面积为26.34%,表面粗糙度为10nm;Mg/Co的损坏面积为2.78%,表面粗糙度为5nm。6天后,X射线掠入射反射率测量显示Mg/SiC多层膜一级反射峰完全消失,而Mg/Co多层膜的一级反射峰仍有47.63%的反射率。实验表明,Mg/Co多层膜的表面层和内部多层膜结构的损坏速度较Mg/SiC慢,具有较好的环境稳定性。另外,X射线光电子谱(XPS)测试Mg基多层膜损坏后的产物主要为MgCO3、Mg(OH)2和少量的MgO,且内层Mg(OH)2与MgCO3含量的比值显著高于表面层。分析认为,水汽是造成Mg基多层膜损坏的主要原因,今后Mg基多层膜保护层的研究可主要针对如何防止水汽进入膜层。
- 朱京涛宋竹青丁涛马爽李浩川
- 关键词:稳定性
- 多方向红外测距新型智能导盲杖被引量:11
- 2012年
- 基于红外探测器的三角测距原理和光电传感技术,设计了一种新型的智能导盲系统。该导盲系统以Arduino单片机为控制核心,三个方向的红外探测器采集周围障碍物信息,通过一定的优化算法编写程序,读取周围障碍物信息,判断需要报警的方向,控制蜂鸣器和MP3模块的双语音报警系统,确定行走方向。该系统提高了报警的及时性和精确度,能够很好地引导盲人避开障碍物,安全快速地行走。
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- 关键词:红外探测器语音报警
- 一种基于薄膜标记层的多层膜结构的表征方法
- 本发明涉及一种基于薄膜标记层的多层膜结构的表征方法,在多层膜结构内特定位置插入合适材料的标记膜层,以在电镜测试过程中确定不同区域膜层的位置,从而利用高倍数电镜对多层膜膜系整体结构实现精确拼接和表征。与现有技术相比,本发明...
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