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李娟

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：济南大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：山东省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇正胶
  • 1篇瑞红
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇叉指电极

机构

  • 1篇济南大学

作者

  • 1篇吴海涛
  • 1篇冯婷婷
  • 1篇李娟
  • 1篇陈相逢

传媒

  • 1篇产业与科技论...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
国产苏州瑞红RZJ304光刻正胶应用工艺研究
2012年
本文以国产瑞红RZJ304正胶为载体,基于光刻工艺环节中各工艺参数要求,以线宽1、2、5微米的叉指电极为标准,重点研究各工艺参数如曝光强度、曝光时间以及显影时间等关键因素对光刻效果的影响程度;以此表征该类型光刻胶良好的光刻效果,为后续实际器件加工与应用奠定基础。
陈相逢李娟冯婷婷吴海涛
关键词：光刻工艺正胶叉指电极
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