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赵亚芝

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：常州大学更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇电子密度
  • 1篇射频放电
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇沉积速率

机构

  • 1篇常州大学

作者

  • 1篇丁建宁
  • 1篇袁宁一
  • 1篇陈明明
  • 1篇赵亚芝

传媒

  • 1篇常州大学学报...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电容耦合等离子体化学气相沉积系统二维射频放电及薄膜制备工艺的研究
2012年
通过建立二维自适应模型,对等离子体化学气相沉积系统反应室中SiH4/H2在射频辉光放电条件下的多物理场进行仿真模拟,模拟结果显示:当射频功率和硅烷体积分数增大时,极板间电子密度增大,薄膜沉积速率也随之加快,但沉积的均匀性变差。结合利用该PECVD设备制备的薄膜微结构和沉积速率测试结果,得出射频功率为80W,SiH4体积分数为1%时,薄膜的平均晶粒大小和晶化率最大,薄膜沉积速率较快且均匀性较好。
陈明明袁宁一丁建宁赵亚芝
关键词：等离子体化学气相沉积电子密度沉积速率
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