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郭春霞

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：电子薄膜与集成器件国家重点实验室基础研究开放创新基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇溶胶-凝胶法...
  • 1篇水基
  • 1篇凝胶法制备
  • 1篇HFO
  • 1篇纯水
  • 1篇HFO2

机构

  • 1篇大连理工大学
  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇周大雨
  • 1篇梁海龙
  • 1篇郭春霞
  • 1篇李清

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纯水基溶胶-凝胶法制备HfO_2纳米超薄膜被引量：2
2014年
微电子工业的发展提出了不断提高集成电路芯片上多种器件电容密度的迫切需求,因此开展厚度<10nm超薄HfO2高-k电介质薄膜的可控制备技术研究具有重要意义。以氯氧化铪、硝酸和双氧水为主要试剂配制了纯水基溶胶前驱体,使用去离子水对溶胶进行适当稀释后,采用旋涂法在经等离子体清洗的硅基片上制备HfO2薄膜。以XRR、AFM以及XPS为主要手段对薄膜样品的厚度、表面形貌以及化学成分进行了分析,结果表明这种新颖的溶胶-凝胶技术可将薄膜的沉积速率控制在每旋涂周期1nm以下,薄膜表面平整致密,成分符合化学计量比。
李清郭春霞周大雨曲德舜梁海龙
关键词：溶胶-凝胶HFO2
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