朱丽楠
- 作品数:5 被引量:15H指数:3
- 供职机构:太原理工大学更多>>
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- 相关领域:一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- Si/a-C:H多层薄膜的可控制备及摩擦学性能研究
- 非晶碳氢(amorphous hydrogenated carbon,简称 a-C:H)薄膜因其具有高的硬度、低的摩擦系数、良好的化学惰性等优异的性能,被认为是最有潜质的减摩抗磨润滑材料之一。但目前在使用过程中存在着内应...
- 朱丽楠
- 关键词:摩擦学性能
- Si/a-C:H多层薄膜的可控制备及摩擦学性能硏究
- 非晶碳氢(amorphous hydrogenated carbon,简称a-C:H)薄膜因其具有高的硬度、低的摩擦系数、良好的化学惰性等优异的性能,被认为是最有潜质的减摩抗磨润滑材料之一。但目前在使用过程中存在着内应力...
- 朱丽楠
- 关键词:调制周期摩擦学性能
- 文献传递
- 选择性键合金属-类金刚石复合薄膜的性能研究被引量:4
- 2017年
- 目的研究具有选择性键合作用的掺杂金属元素(Cu、Al、Ti)对类金刚石(DLC)薄膜的结构和摩擦学性能的影响。方法以高纯石墨及其与金属复合靶作为靶材,采用离子源镀膜技术分别在n-型(100)单晶硅片和抛光304不锈钢片基体上制备金属-DLC复合膜。采用514.6 nm氩离子激发源的Raman光谱仪,对金属-DLC复合薄膜进行拉曼光谱分析。采用努氏硬度计和表面轮廓仪测量计算薄膜的硬度和残余应力。采用原子力显微镜(AFM)观察DLC薄膜的表面形貌和结构。使用球-盘滑动磨损试验机对DLC复合薄膜进行摩擦学性能分析。结果类金刚石薄膜中掺入不同金属元素掺杂后,摩擦系数保持相对稳定,但磨损率存在较大差异。无掺杂DLC膜中的sp^3键含量最高,薄膜硬度高,残余应力大,在摩擦过程中易脱落。Ti-DLC金属复合膜的表面质量最好,结构致密,残余应力释放的同时保持较高的硬度,测得其磨损率最低,为0.13×10^(-15) m^3/nm。结论通过在DLC膜中掺杂不同键合能力的金属元素能够调控DLC薄膜的微观结构,改善薄膜的力学性能(硬度、残余应力),提高薄膜的抗磨损性能。薄膜的摩擦学性能与薄膜的微观结构与金属掺杂元素的存在形态有关。
- 王志峰徐斌张书姣朱丽楠周兵
- 关键词:金属掺杂类金刚石薄膜残余应力摩擦学性能
- 金属掺杂类金刚石薄膜研究进展被引量:9
- 2017年
- 类金刚石薄膜(DLC)因具有优异的力学性能和摩擦学性能而受到广泛关注,但内应力高、热稳定性差等问题制约了它的应用和发展。将适量的金属掺入DLC薄膜中,由于金属与碳的键合作用不同,掺杂后形成的纳米晶或纳米金属碳化物颗粒具有高的活性,增加了晶界滑移,改善了薄膜结构,进而提高了薄膜的力学性能和摩擦学性能,为薄膜的应用和发展提供了新思路。对目前金属掺杂DLC薄膜的研究进行了综述,提出了未来一段时间内金属掺杂DLC薄膜的发展趋势。
- 张书姣吴艳霞朱丽楠唐宾王志峰周兵
- 关键词:类金刚石薄膜金属掺杂内应力润滑
- 不同掺杂对类金刚石薄膜的影响被引量:3
- 2018年
- 目的研究单掺Si和共掺Ag、Si对类金刚石薄膜的结构、摩擦学性能和耐腐蚀性能的影响。方法以高纯石墨靶、石墨与金属复合靶、Si靶作为靶材,采用射频增强磁控溅射技术制备不同掺杂种类的薄膜。通过XPS、拉曼光谱仪对薄膜的化学组成和结构进行分析,通过纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、电化学工作站等,对薄膜的力学性能、摩擦学性能及耐腐蚀性能进行了系统研究。结果 Si元素单掺DLC会引起薄膜中sp^3C含量增加。Ag、Si共掺DLC后,由于Ag以金属相分布在薄膜中,并促进sp^2相的形成,导致sp^3C含量降低。掺杂元素后的DLC薄膜,硬度下降,但韧性提高,其中Ag、Si共掺的DLC薄膜的弹性恢复系数达到79%。此外,Ag、Si共掺DLC薄膜在多种气氛(Ar、O_2、N_2)中都具有优异的摩擦学性能,磨损寿命均超过30 min,其中在N_2气中的摩擦系数最低(<0.1),并在NaCl溶液中的腐蚀电流密度比304不锈钢基体降低了近2个数量级,具有良好的耐腐蚀性。结论 Si与Ag共掺DLC薄膜较Si单掺薄膜具有更好的摩擦环境适应性和耐腐蚀性能。
- 张书姣吴艳霞朱丽楠唐宾刘颖
- 关键词:类金刚石薄膜掺杂摩擦学性能耐腐蚀性能磁控溅射