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郭娟

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：西南科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇形貌
  • 1篇气相沉积
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米金刚石
  • 1篇纳米金刚石薄...
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇刚石
  • 1篇薄膜形貌
  • 1篇掺氮

机构

  • 1篇西南科技大学
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇王兵
  • 1篇梅军
  • 1篇孙文周
  • 1篇王玉乾
  • 1篇袁庆
  • 1篇郭娟
  • 1篇燕丽娜

传媒

  • 1篇武汉理工大学...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
掺氮对纳米金刚石薄膜形貌及组成结构的影响被引量：4
2008年
采用微波等离子体化学气相沉积技术,通过在甲烷和氢气的混合反应气源中通入不同浓度的氮气,合成了氮掺杂的纳米金刚石薄膜。表征结果表明随着氮气浓度的增加,所得到的金刚石薄膜的材料特征发生了明显的改变:膜层晶粒结构由从未见过的大尺寸片状向团簇状再向微颗粒状转变,并且薄膜的表面粗糙度相应变小;同时薄膜中非金刚石组份逐渐增多,膜材的物相纯度下降。氮气浓度除决定了纳米金刚石薄膜中N的掺杂度外,还会对膜材的物相组成、形貌及结构产生巨大的影响。
王玉乾王兵甘孔银梅军孙文周袁庆燕丽娜郭娟
关键词：纳米金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积
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