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李延强

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：青岛理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇纳米
  • 3篇纳米压印
  • 2篇脱模
  • 2篇开式
  • 1篇脱模力
  • 1篇晶圆

机构

  • 3篇青岛理工大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 3篇李延强
  • 2篇兰红波
  • 1篇梁森
  • 1篇刘红忠

传媒

  • 1篇机械工程学报
  • 1篇中国机械工程

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
整片晶圆纳米压印揭开式脱模及复合软模具研究
微纳电子技术、高性能玻璃、高性能显示器件、生物检测等领域对大面积微纳特征结构图形化有着广泛的市场需求，但是现有的微纳制造技术难以高效、低成本、批量化实现大面积微纳特征结构图形化。虽然纳米压印光刻技术已被认为是当前最具工业...
李延强
关键词：纳米压印
纳米压印复合软模具建模研究被引量：3
2018年
基于复合软模具纳米压印是一种高效、低成本和批量化制造大面积微纳米结构的新方法,已经被看作是最具有工业化应用前景的微纳制造技术。大尺寸复合软模具的设计和制造是当前大面积纳米压印所面临的一项挑战性难题,也是影响和制约晶圆级微纳米压印广泛工业化应用的技术瓶颈。开展了大面积纳米压印复合软模具理论分析、数值模拟和试验验证的系统研究。基于薄板弯曲理论,建立复合软模具变形理论模型。利用ABAQUS模拟软件,揭示了模具几何特征、材料属性以及压印工艺要素对于复合软模具变形的影响及其规律。提出纳米压印复合软模具设计的基本准则。该研究为大面积纳米压印复合软模具设计、优化和制造奠定了重要理论基础,并为大面积纳米压印装备开发和工艺优化提供方向性指导。
李延强兰红波许权梁森刘红忠
大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
2017年
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律。
李延强兰红波
关键词：脱模力
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