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李莉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：重庆光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电控
  • 1篇溅射
  • 1篇PLC
  • 1篇RS485
  • 1篇触摸屏
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇重庆光电技术...

作者

  • 1篇张勇
  • 1篇唐代飞
  • 1篇赖忠良
  • 1篇贾易洪
  • 1篇李莉

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射台电控系统的改造
2011年
针对当前磁控溅射台存在真空自动准备和手动自动切换不完善等缺点,以DV602磁控溅射台为例,对其电控系统进行了改造。设计了以PLC为控制系统核心、以触摸屏为人机接口的电控系统,控制系统的可靠性和稳定性得到提高,且界面友好,操作方便。
赖忠良李莉张勇贾易洪唐代飞
关键词：磁控溅射PLC触摸屏RS485
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