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杨斐
作品数:
1
被引量:13
H指数:1
供职机构:
天津工程师范大学
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发文基金:
天津市高等学校科技发展基金计划项目
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相关领域:
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合作作者
郑宏兴
天津工程师范大学
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天津工程师范大学
王光伟
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2008
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ZnO薄膜的制备方法、性质和应用
被引量:13
2008年
介绍了宽禁带半导体ZnO薄膜的制备工艺、主要性质和器件应用等几方面内容。ZnO薄膜的制备方法大致分为物理法和化学法。前者主要包括溅射、脉冲激光沉积和分子束外延等;后者则涵盖化学气相沉积、喷雾热解和溶胶-凝胶法等。从晶体结构、光学及电学等角度概述了ZnO薄膜的主要性质。与这些性质相联系的器件应用有太阳能电池、发光器件和紫外探测器等。对器件应用领域中存在的一些问题及其解决思路作了探讨。
王光伟
张建民
郑宏兴
杨斐
关键词:
ZNO薄膜
光电特性
光电器件
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