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王玉林

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇设计技术
  • 1篇离子注入
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机辅助设...
  • 1篇计算机辅助设...
  • 1篇辅助设计

机构

  • 1篇东南大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇李智群
  • 1篇郝达兵
  • 1篇杨勇
  • 1篇王玉林

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于TCAD工具的超突变结变容二极管设计
2009年
根据超突变结变容二极管设计和工艺特点,报道了利用SILVACO公司工艺模拟软件Athena、器件模拟软件Atlas等完成超突变结变容二极管的几何结构、浓度分布、工艺参数、电学参数等的设计,根据设计参数通过某型号Si超突变结变容二极管生产情况验证设计参数和电参数的吻合情况,改进实际工艺参数和模拟参数的容差系数;分别利用离子注入-扩散法和双离子注入法完成器件工艺制作,提高了的工艺重复性和成品率。采用TCAD技术大大缩短了研制周期、降低了费用。
杨勇郝达兵王玉林李智群
关键词：计算机辅助设计技术离子注入
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