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逯海波

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：北京理工大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇热敏元件
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇仲顺安
  • 1篇丁英涛
  • 1篇谢君堂
  • 1篇逯海波

传媒

  • 1篇北京理工大学...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微型剪应力传感器的热特性分析被引量：2
2009年
研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微型剪应力传感器具有通用的指导意义.
丁英涛逯海波仲顺安谢君堂
关键词：微电子机械系统灵敏度热敏元件
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共1页<1>
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