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李晓谦

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇离子辅助沉积

机构

  • 1篇北京理工大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇尤大纬
  • 1篇林永昌
  • 1篇李晓谦

传媒

  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子辅助成膜技术被引量：3
2000年
等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术 ,本文报道了等离子辅助源的性能指标 ,用这个源制造的Ti O2 膜工艺与成膜质量 ,以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。
林永昌尤大纬李晓谦沈立新郑陪雨
关键词：离子辅助沉积
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共1页<1>
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