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李银成
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
武汉大学物理科学与技术学院
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
国际科技合作与交流专项项目
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相关领域:
理学
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合作作者
韩滨
武汉大学物理科学与技术学院
王微
武汉大学物理科学与技术学院
付德君
武汉大学物理科学与技术学院
闫少健
武汉大学物理科学与技术学院
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武汉大学学报...
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2015
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碳含量对TiCN涂层的结构和力学性能的影响
被引量:2
2015年
采用多弧离子镀技术,以N2为氮源,C2H2为碳源,Ti为靶源,在单晶硅和硬质合金衬底上沉积Ti CN硬质涂层,系统地研究制备工艺对Ti CN涂层的结构、形貌、硬度及摩擦学性能的影响.用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电子显微镜测量了涂层的形貌和晶体结构;用HX-1000显微硬度计和HH-3000划痕仪测量了涂层的硬度和结合强度.研究结果表明:Ti CN和Ti N涂层同为单相的Na Cl型面心立方结构;在优化条件下制备的Ti CN涂层的最高硬度为38.5 GPa,远高于Ti N涂层的27.9 GPa硬度;Ti CN涂层与硬质合金的膜基结合力超过70 N.
李银成
闫少健
韩滨
王微
付德君
关键词:
多弧离子镀
TICN
显微硬度
结合力
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