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潘慧
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1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西安交通大学
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相关领域:
金属学及工艺
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施钰川
西安交通大学
黄国华
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黄卓
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金刚石与磨料...
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2012
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固着磨粒切割线研究进展
被引量:1
2012年
游离磨粒线锯切割存在污染环境和切割效率低的不足,固着磨粒线锯切割具有切缝小、切片表面质量好、切割速度快和消除工业浪费等优点成为了人们的研究热点。固着磨粒线锯和游离磨粒线锯最主要的区别是切割线,切割线的特性直接影响硅片的切割质量及生产效率。本文阐述了固着磨粒线锯切割的优点,总结了目前几种固着磨粒切割线的制造方法,包括:电镀、电火花、钎焊、树脂、机械碾压和挤压与冲压等,并介绍了固着磨粒切割线的改进方法。
潘慧
黄国华
施钰川
黄卓
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