张晶
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
- 供职机构：西安理工大学更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重点项目国家科技重大专项国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 直拉硅单晶放肩过程的有限元数值模拟与控制参数研究被引量：6
- 2013年
- 放肩是直拉法生长硅单晶保持无位错生长的过程,是晶体能够顺利进入等径生长的关键。生产实践中发现,在放肩前段经常出现液流线切入晶体随之变晶的现象。本文提出了放肩前期的变晶转拉晶工艺,采用有限元数值模拟的方法计算出熔体热对流及温度分布,给出了固液界面附近熔体中的流速变化规律,解释了液流线的成因,通过仿真结果和拉晶实验结果表明该方法的有效性。
- 张晶刘丁赵跃焦尚彬
- 关键词：直拉硅单晶放肩有限元数值模拟
- 四极磁场下大尺寸直拉硅单晶生长三维数值模拟被引量：2
- 2015年
- 在大尺寸直拉硅单晶生长过程中,针对水平磁场单方向磁力线分布引起的熔体温度分布非轴对称特征,提出了一种双磁力线结构的磁场——四极磁场。为准确描述非轴对称磁场作用下晶体生长过程,采用三维数值模拟方法,建立了四极磁场下二维/三维混合热场模型的边界条件,并将三维数值模拟结果与水平磁场作以对比。结果表明,四极磁场降低了熔体内部温度的非轴对称性;增加磁感应强度有利于增加熔体自由表面附近温度分布的均匀性,但对固液界面形状调节作用不明显;强磁场环境下,提高晶体旋转速度有利于改变固液界面凹凸程度,改善固液界面形态的非轴对称性。
- 张晶刘丁赵跃惠一龙姜雷
- 关键词：直拉硅单晶数值模拟
