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刘玉芹

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国石油吉林石化公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇抗蚀剂
  • 2篇光致
  • 2篇光致抗蚀剂
  • 1篇光产酸剂
  • 1篇分子
  • 1篇玻璃体

机构

  • 2篇吉林化工学院
  • 2篇中国石油吉林...
  • 1篇中山市福瑞特...

作者

  • 2篇孟磊
  • 2篇徐娜
  • 2篇刘玉芹

传媒

  • 2篇吉林化工学院...

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
化学增幅型光致抗蚀剂用光产酸剂
2012年
综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理,对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述,并对其特性和应用做了简单介绍.
孟磊刘玉芹王金铃徐娜
关键词：光致抗蚀剂光产酸剂
分子玻璃光致抗蚀剂研究进展
2012年
随着半导体芯片集成度的快速提高,光刻技术的分辨率正由90、65和45 nm迈向更先进的32 nm或以下.而分子玻璃体抗蚀剂可能是下一代光刻技术的最好选择.本文阐述了分子玻璃光致抗蚀剂的设计思想,并介绍了几种性能良好的分子玻璃光致抗蚀剂.
徐娜刘玉芹王金玲胡勇孟磊
关键词：光致抗蚀剂
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共1页<1>
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