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王树杰

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：南通航运职业技术学院船舶与海洋工程系更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇应变硅
  • 1篇应变硅技术
  • 1篇纳米CMOS
  • 1篇硅技术
  • 1篇CMOS

机构

  • 1篇南通航运职业...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇刘国柱
  • 1篇姚飞
  • 1篇王树杰
  • 1篇林丽

传媒

  • 1篇电子与封装

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
应变硅技术在纳米CMOS中的应用被引量：1
2012年
应变硅技术具有迁移率高、能带结构可调的优点,且与传统的体硅工艺相兼容,在CMOS工艺中得到广泛地应用,尤其是MOS器件的尺寸进入纳米节点。文章综述了应变硅技术对载流子迁移率影响的机理,并从全局应变和局部应变两个方面介绍了应变硅在CMOS器件中的应用。同时,将多种应变硅技术整合在一起提升MOS器件的性能是未来发展的趋势。
刘国柱姚飞王树杰林丽
关键词：应变硅CMOS
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