苏涵韩
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学更多>>
- 常压下高低温交变实验对激光薄膜元件的影响被引量：1
- 2011年
- 在不同的实验环境条件下,对电子束蒸发制备的ZrO2/SiO2多层膜进行了高低温交变实验。扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)的测试结果显示高低温交变前后薄膜内部均无晶体形成,膜层结构也无变化。测试高低温交变前后样片的透射率光谱、面形、激光损伤阈值,并对其进行分析。结果表明,在经历高低温交变实验之后,薄膜元件中心波长处的透射率下降,损伤阈值降低,面形向凹陷方向发展。
- 苏涵韩黄建兵于振坤
- 关键词：面形激光损伤
- 基底亚表面裂纹对减反射膜激光损伤阈值的影响被引量：4
- 2012年
- 利用化学沥滤技术,分析了亚表面裂纹对基底表面和减反射膜激光损伤阈值(LIDT)的影响。通过去除或保留研磨裂纹,获得了亚表面裂纹数密度有明显区别的两类基底。为了凸出亚表面裂纹层的作用,基底采用化学沥滤去除另外一种可能的影响因素,即再沉积层中的抛光杂质。然后采用电子束蒸发镀制HfO2/SiO2减反射膜。355nm激光损伤阈值测试结果和损伤形貌分析证实了基底亚表面裂纹对减反射膜抗激光损伤能力的负面影响。根据熔石英基底抛光表面的烘烤现象,提出了亚表面缺陷影响膜层激光损伤的耦合模型。
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- 关键词：激光损伤减反射膜
