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张森

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：宁波大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 2篇三氟
  • 2篇三氟甲烷
  • 2篇四氟
  • 2篇四氟化碳
  • 2篇气体流量
  • 2篇甲烷
  • 2篇氟化
  • 2篇ICP
  • 2篇波导
  • 2篇传输损耗
  • 1篇SE

机构

  • 3篇宁波大学

作者

  • 3篇张森
  • 2篇张巍
  • 2篇沈祥
  • 2篇韩金涛
  • 2篇赵阳
  • 2篇周杰

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2017
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法
一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在Si/SiO<Sub>2</Sub>基片上镀上一层GeSbSe膜；2)将清洗后的基片上涂覆光刻胶并且制备出光刻胶掩膜；3)将带有光刻胶掩膜的基片在ICP刻...
张巍周杰韩金涛沈祥赵阳张森
文献传递
一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法
一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在Si/SiO<Sub>2</Sub>基片上镀上一层GeSbSe膜；2)将清洗后的基片上涂覆光刻胶并且制备出光刻胶掩膜；3)将带有光刻胶掩膜的基片在ICP刻...
张巍周杰韩金涛沈祥赵阳张森
文献传递
Ge-Se硫系薄膜光致结构变化研究
硫系玻璃中硫族元素的两个未成键孤对电子位于价带的顶端，在带隙光的辐照下容易被激活导致结构的变化，引起带隙的增加或者减小[1]，这种效应已被广泛用于诸如带隙光直接光波导技术中[2]。
张森陈益敏沈祥戴世勋
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