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李永珍

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇准直
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇干涉仪
  • 1篇测长

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇曹国斌
  • 1篇王晓奎
  • 1篇李永珍

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光干涉仪线性测长的准直调节方法被引量：4
2013年
概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响。依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法。
王晓奎曹国斌李永珍
关键词：激光干涉仪
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