您的位置： 专家智库 > >

郭斐

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：南昌航空大学测试与光电工程学院无损检测技术教育部重点实验室更多>>
发文基金：江西省自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇驻波场
  • 1篇相干
  • 1篇相干光
  • 1篇相干光学
  • 1篇光刻
  • 1篇光学
  • 1篇光诱导
  • 1篇干涉光刻
  • 1篇高斯
  • 1篇表面等离子激...

机构

  • 1篇南昌航空大学

作者

  • 1篇邹文栋
  • 1篇江茂清
  • 1篇黄频波
  • 1篇郭斐

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
干涉高斯光诱导的表面等离子激元驻波场的分析被引量：2
2011年
考虑到实际入射光强的空间分布不均匀,基于Kretschmann模型并采用角谱方法分析模拟了两束高斯光干涉诱导表面等离子激元(SPP)驻波场。与理想平面波不同,高斯光诱导的SPP干涉条纹幅值大小不等,分布复杂,这表明光强空间非均匀程度会严重地影响到曝光深度的分布。还分析了金属薄膜的厚度、损耗以及光刻胶的介电常数对SPP驻波场的影响,并得出不恰当的金属板厚和细微损耗都会极大削弱SPP驻波场,而如果光刻胶的介电常数过大则有可能产生不了表面等离子体共振的结论。
黄频波邹文栋郭斐江茂清
关键词：相干光学干涉光刻表面等离子激元
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0