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陈明辉
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
苏州大学信息光学工程研究所
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
葛建平
苏州大学现代光学技术研究所
刘全
苏州大学信息光学工程研究所
沈为民
苏州大学现代光学技术研究所
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年份
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2013
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锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响
被引量:2
2013年
与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种方法的制造误差。然后,分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响,指出闪耀角误差、槽顶角误差和刻刀圆弧半径是影响锯齿槽光栅衍射效率的关键因素。为制作高质量成像光谱仪用光栅奠定了理论基础和指导。
葛建平
沈为民
刘全
陈明辉
关键词:
单点金刚石车削
衍射效率
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