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孙宁宁
作品数:
6
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
谭满清
中国科学院半导体研究所
焦健
中国科学院半导体研究所
郭文涛
中国科学院半导体研究所
郭小峰
中国科学院半导体研究所
杜峰
中国科学院半导体研究所
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焦健
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3篇
2014
2篇
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一种小型化的铒镱共掺超荧光光纤光源
本发明公开了一种小型化的铒镱共掺超荧光光纤光源,包括制冷器、热沉、过渡热沉、热敏电阻、980nm激光管芯、楔形透镜、双透镜耦合系统、高反射率薄膜、铒镱共掺磷酸盐玻璃单模光纤、石英玻璃管、光纤连接器和光隔离器。利用本发明,...
谭满清
杜峰
焦健
郭小峰
郭文涛
孙宁宁
文献传递
准直分光镜系统
本发明提供了一种准直分光镜系统。该准直分光镜系统包括:消偏振立方分光镜;以及准直透镜,位于消偏振立方分光镜的光路前端,用于将发散光束进行准直处理转化为平行光后入射所述消偏振立方分光镜或将所述消偏振立方分光镜出射的平行光进...
谭满清
孙宁宁
焦健
郭小峰
郭文涛
文献传递
一种光纤激光器装置
本发明公开了一种光纤激光器装置,包括:制冷器,对激光器管芯进行控温;热沉;过渡热沉,与所述热沉共同对激光器管芯和增益光纤散热;热敏电阻,精确控制制冷器的温度;激光器管芯,产生第一预定波长的激光;第一光纤部分,包括楔形透镜...
杜峰
谭满清
焦健
郭小峰
郭文涛
孙宁宁
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一种小型化的铒镱共掺超荧光光纤光源
本发明公开了一种小型化的铒镱共掺超荧光光纤光源,包括制冷器、热沉、过渡热沉、热敏电阻、980nm激光管芯、楔形透镜、双透镜耦合系统、高反射率薄膜、铒镱共掺磷酸盐玻璃单模光纤、石英玻璃管、光纤连接器和光隔离器。利用本发明,...
谭满清
杜峰
焦健
郭小峰
郭文涛
孙宁宁
PECVD提高SiO_2薄膜致密性的研究
被引量:7
2013年
为了在高功率980 nm激光器工艺中制备高质量、均匀性好、致密性高的SiO2薄膜,本文研究了PECVD的反应压强、射频功率、SiH4与N2O流量比对SiO2薄膜的沉积速率和BOE腐蚀速率的影响。实验采用BOE腐蚀速率来反映SiO2薄膜的致密性,采用傅里叶红外光谱仪得到SiO2薄膜的红外吸收特性,采用原子力显微镜(AFM)观察SiO2薄膜的表面形貌。通过优化各工艺参数最终获得了BOE腐蚀速率为9.18 nm/s的SiO2薄膜。
郭文涛
谭满清
焦健
郭小峰
孙宁宁
关键词:
PECVD
SIO2薄膜
致密性
一种侧向耦合平面波导光栅外腔激光器
本发明公开了一种外腔激光器,其包括一个平面光波导芯片,该芯片包括一个管芯和一个波导,波导具有一个芯层,该芯层呈脊形,在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。所述管芯包括有源区、前腔面和后腔面,所述后腔面用于反射所述有源...
孙宁宁
谭满清
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