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李欣欣
作品数:
4
被引量:6
H指数:1
供职机构:
京东方科技集团股份有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
龙春平
北京京东方光电科技有限公司
王威
京东方科技集团股份有限公司
李昌熙
京东方科技集团股份有限公司
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龙春平
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李欣欣
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1篇
2009
3篇
2007
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金属导线、电极及薄膜晶体管阵列基板的制造方法
本发明公开了一种金属栅线和栅电极的制造方法,包括:提供一基板;在基板上形成一层光刻胶,其图案和栅线以及栅电极的形状互补;在基板和光刻胶上,溅射形成一层铜金属薄膜或包含铜金属的复合薄膜;在剥离液里浸泡基板,去除光刻胶及其上...
龙春平
李欣欣
文献传递
金属导线、电极及薄膜晶体管阵列基板的制造方法
本发明公开了一种金属栅线和栅电极的制造方法,包括:提供一基板;在基板上形成一层光刻胶,其图案和栅线以及栅电极的形状互补;在基板和光刻胶上,溅射形成一层铜金属薄膜或包含铜金属的复合薄膜;在剥离液里浸泡基板,去除光刻胶及其上...
龙春平
李欣欣
文献传递
一种TFT LCD阵列基板结构及其制造方法
本发明公开了一种TFT LCD阵列基板结构,包括:基板;栅电极扫描线和栅电极;栅电极绝缘层;有源层;数据扫描线、源电极和漏电极、挡光条和公共电极;形成在数据扫描线、源电极和漏电极、挡光条和公共电极上的钝化层,并在漏电极、...
李欣欣
李昌熙
龙春平
文献传递
TFT-LCD工艺与静电击穿
被引量:6
2007年
薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay,TFT-LCD)的制造工艺是一个复杂的过程,各个环节都可能发生静电击穿(electrostaticdischarge,ESD)现象,导致TFT-LCD器件被破坏,极大地影响了良品率。本文根据薄膜晶体管(TFT)生产工艺的实际情况,阐述了产线里各类产品型号的ESD发生状况。在此基础上,对各种设计、工艺过程和工艺参数对ESD造成的影响进行了分析研究,为实际的生产提供了指导作用。
李欣欣
龙春平
王威
关键词:
薄膜晶体管液晶显示器
电场强度
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