孙真真
- 作品数:2 被引量:3H指数:1
- 供职机构:江苏大学机械工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术电子电信更多>>
- 多组分掺杂ZnO陶瓷薄膜的射频磁控溅射法制备及表征被引量:2
- 2011年
- 采用传统陶瓷烧结工艺,制备了直径为50mm,厚度为3mm的Bi2O3、Sb2O3、Co2O3、Cr2O3、MnO2掺杂的ZnO陶瓷靶,采用所制备的ZnO陶瓷靶和射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上成功制备出了ZnO陶瓷薄膜,并研究了溅射功率和退火温度对ZnO陶瓷薄膜的微观结构和表面形貌的影响。结果表明:随着溅射功率的增大,ZnO陶瓷薄膜的沉积速率增大;颗粒尺寸先减小后增大。随着退火温度的升高,ZnO陶瓷薄膜的c轴取向增强;晶粒尺寸增大。溅射功率为350W,退火温度为850℃,制备出的陶瓷薄膜的相组成是ZnO主晶相、富Bi2O3相、Sb2O3相以及Zn2.33Sb0.67O4尖晶石相,得到了具有压敏电阻特性的组织结构。
- 花银群孙真真陈瑞芳徐瑞丽
- 关键词:无机非金属材料射频磁控溅射溅射功率退火温度
- 激光冲击波对ZnO压敏陶瓷电学性能的影响被引量:1
- 2011年
- 为了研究激光冲击处理对ZnO压敏陶瓷电学性能的影响,采用Nd:YAG激光器对ZnO压敏陶瓷进行激光冲击处理,利用压敏电阻直流参量仪(CJ1001型)测量材料电学参量和X射线衍射仪、电子扫描显微镜表征相组成及微观形貌,取得了激光冲击处理前后ZnO压敏陶瓷电学性能的实验数据。结果表明,ZnO压敏陶瓷经激光冲击处理后,电位梯度降低了15.6%;非线性系数大幅提高了43.4%;漏电流降低了50%;同时,ZnO压敏陶瓷相组成除高温烧结态(包括ZnO主晶相、Zn_(2.33)Sb_(0.67)O_4尖晶石相以及β-Bi_2O_3相)外,而还出现了新相δ-Bi_2O_3相。新相的出现是材料电学性能变化的根本原因。
- 花银群吉光孙真真陈瑞芳
- 关键词:激光技术激光冲击电位梯度漏电流