钱晓霞
- 作品数：11 被引量：0H指数：0
- 供职机构：南京工程学院工业中心更多>>
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- 微机电系统器件加工中绝缘层与半导体导电层图形对准误差电学测试结构
- 一种微机电系统器件加工中绝缘层与半导体导电层图形对准误差电学测试结构，以金属层为基本层，设计对准误差的测试结构，该结构中半导体层为二块分离、同一材料但不同形状图形的半导体，一块为梯形，另一块为矩形，二者平行；与半导体层接...
- 李伟华钱晓霞
- 文献传递
- 微机电系统器件加工中不同导电层图形间对准误差电学测试结构
- 微机电系统器件加工中不同导电层图形间对准误差电学测试结构，以金属层为基本层，设计各导电层间对准误差的测试结构，该结构中半导体层为二块分离、同一材料但不同形状图形的半导体，一块为梯形，另一块为矩形，二者平行；与半导体层接触...
- 李伟华钱晓霞
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- 微机电器件加工中不同导电层图形对准误差电学测试结构
- 微机电器件加工中不同导电层图形对准误差电学测试结构，以金属层为基本层，设计各导电层间对准误差的测试结构，该结构中半导体层为二块分离、同一材料但不同形状图形的半导体，一块为梯形，另一块为矩形，二者平行；与半导体层接触、形成...
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- 微机电系统器件加工中绝缘层与半导体导电层图形对准误差电学测试方法
- 一种微机电系统器件加工中绝缘层与半导体导电层图形对准误差电学测试方法，以金属层为基本层，设计对准误差的测试结构，该结构中半导体层为二块分离、同一材料但不同形状图形的半导体，一块为梯形，另一块为矩形，二者平行；与半导体层接...
- 李伟华钱晓霞
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- 微机电系统器件加工中金属层与绝缘层图形对准误差电学测试结构
- 一种微机电系统器件加工中金属层与绝缘层图形对准误差电学测试结构，以金属层为基本层，设计准误差测试结构，该结构中半导体层为二块分离、平行设置、同一材料、同为矩形的半导体；下面的绝缘层上分别对应于二块半导体的部位，相应开有一...
- 李伟华钱晓霞
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- MEMS几何学及电学PCM参数提取研究
- 微电子机械系统(MEMS)是近年来国际上兴起的一个新的研究领域,是新一轮技术产业革命。目前,世界各国对MEMS的投入力度在逐年增大,然而,MEMS的应用却比预期的要慢,其中的重要原因之一是MEMS器件制造工艺的重复性及其...
- 钱晓霞
- 关键词：微电子学芯片设计微机械加工
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- 微机电系统器件结构中绝缘层厚度的电学测试结构
- 本发明提供了一种表面加工MEMS器件结构中绝缘层厚度的电学测试结构，其基本出发点是通过电学测量的方式得到绝缘层厚度值。在表面加工工艺中，MEMS器件结构绝缘层通常是二氧化硅、氮化硅或聚合物。本发明利用绝缘层材料上面具有导...
- 李伟华钱晓霞
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- MEMS表面加工中材料层厚度电学测试结构
- 2013年
- 微机电系统(MEMS)表面加工工艺中的材料层厚度是决定MEMS器件性能的重要参数之一,如多晶硅结构层厚度和牺牲层厚度,直接决定了MEMS器件的机构性能和结构的纵向移动范围,因此对材料层厚度进行测试和工艺控制监视是极具意义的.当前的材料层厚度测试大多采用光机械的方法,因其测试方法复杂、设备昂贵、测试时间长且很难集成到一个工艺控制监视(PCM)系统中,提出一种新颖的材料层厚度电学测试结构,该测试结构具有结构简单、测量方便并且便于MEMS测试系统集成的特点.通过软件对测试结构和测试模型进行闭环验证,结果表明,模拟值与理论值有较好的一致性.
- 钱晓霞李伟华
- 关键词：电测量
- 微机电系统器件结构中绝缘层厚度的电学测试结构
- 本发明提供了一种表面加工MEMS器件结构中绝缘层厚度的电学测试结构，其基本出发点是通过电学测量的方式得到绝缘层厚度值。在表面加工工艺中，MEMS器件结构绝缘层通常是二氧化硅、氮化硅或聚合物。本发明利用绝缘层材料上面具有导...
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- 微机电器件加工中金属层与绝缘层对准误差电学测试结构
- 一种微机电器件加工中金属层与绝缘层对准误差电学测试结构，以金属层为基本层，设计准误差的测试结构，该结构中半导体层为二块分离、平行设置、同一材料、同为矩形的半导体；下面是绝缘层，绝缘层上分别对应于二块半导体的部位，相应开有...
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