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陈辰

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇晶体
  • 1篇抗反射
  • 1篇抗反射膜
  • 1篇激光
  • 1篇激光干涉
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻法
  • 1篇光学
  • 1篇光子
  • 1篇光子晶体
  • 1篇非线性光学
  • 1篇ICP

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇洪荣墩
  • 1篇陈辰

传媒

  • 1篇电子技术与软...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光干涉光刻法制备二氧化硅光子晶体抗反射膜被引量：2
2014年
为了研究制备二氧化硅(SiO2)光子晶体抗反射膜,采用激光干涉光刻法与电感耦合等离子刻蚀(ICP)技术制备进行实验。激光干涉光刻法可实现灵活、快速制备大面积周期纳米结构,而ICP刻蚀具有良好的各向异性,扫描电子显微镜的图片(SEM)表明两种实验工艺制备的SiO2光子晶体形貌良好。通过自制的测量平台,实现测量不同入射角度的入射光对光子晶体的透过率,测量结果说明了光子晶体对1170nm的入射光有较好的增透效果。有效折射率可以解释光子晶体在响应波长处增透减反的成因。SiO2光子晶体的成功制备在工艺与理论上为以后应用于光电器件的抗反射膜提供了参考。
陈辰钟金祥洪荣墩
关键词：非线性光学光子晶体ICP
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