您的位置： 专家智库 > >

杨志峰

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇晶格
  • 5篇晶体
  • 5篇刻蚀
  • 5篇光子
  • 5篇光子晶体
  • 5篇波导
  • 4篇耦合器
  • 3篇平面波导
  • 3篇各向异性腐蚀
  • 3篇硅刻蚀
  • 3篇SOI
  • 2篇定向耦合器
  • 2篇信号
  • 2篇柱体
  • 2篇微电子
  • 2篇功率
  • 2篇光束
  • 2篇光信号
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇硅

机构

  • 9篇中国科学院
  • 2篇上海新傲科技...

作者

  • 9篇杨志峰
  • 7篇武爱民
  • 7篇王曦
  • 5篇林旭林
  • 5篇李浩
  • 5篇甘甫烷
  • 2篇陈静
  • 1篇方娜
  • 1篇孙佳胤

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2008
共 9 条 记 录，以下是 1-9
全选 清除 导出
排序方式：
绝缘体上硅基三维楔形模斑转换器及其制备方法
本发明涉及一种基于微机械加工的SOI(绝缘体上硅)基三维楔形模斑转换器及制作方法，用于光纤等光源设备与硅基波导等小尺寸光电子器件的高效耦合。该模斑转换器的制作利用硅晶片不同晶面的选择性腐蚀特性，采用体硅微机械加工工艺实现...
方娜杨志峰武爱民陈静王曦
文献传递
T型分支波导
一种T型分支波导，利用SOI基二维平板柱状光子晶体的自准直效应实现输入光信号的180°分束传播，属于半导体光学技术领域，包括SOI衬底、在SOI衬底顶层硅刻蚀形成的硅柱区域以及将硅柱区域与外部光纤或其他器件连接的SOI条...
王曦杨志峰武爱民甘甫烷林旭林李浩
一种SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的制备方法
本发明提供制备SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的方法，其特征在于采用硅微机械加工技术实现，所涉及的初始加工材料为SOI材料，利用硅材料不同晶面的选择性腐蚀特性，采用各向异性腐蚀、键合、光刻、干法刻蚀等微电子相关工艺得到...
杨志峰方娜武爱民王曦
文献传递
T型分支波导
一种T型分支波导，利用SOI基二维平板柱状光子晶体的自准直效应实现输入光信号的180°分束传播，属于半导体光学技术领域，包括SOI衬底、在SOI衬底顶层硅刻蚀形成的硅柱区域以及将硅柱区域与外部光纤或其他器件连接的SOI条...
王曦杨志峰武爱民甘甫烷林旭林李浩
文献传递
定向耦合器
一种定向耦合器，利用二维长方晶格柱状光子晶体的自准直效应实现，属于半导体光学技术领域。该定向耦合器通过在相邻两排硅柱的长边中间引入一定数量、相同尺寸的耦合柱体，这样，在一排柱体中传播的自准直光束被引入的中间柱体耦合到另一...
王曦杨志峰武爱民甘甫烷林旭林李浩
文献传递
一种SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的制备方法
本发明提供制备SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的方法，其特征在于采用硅微机械加工技术实现，所涉及的初始加工材料为SOI材料，利用硅材料不同晶面的选择性腐蚀特性，采用各向异性腐蚀、键合、光刻、干法刻蚀等微电子相关工艺得到...
杨志峰方娜武爱民王曦
文献传递
SOI基GaN生长中热应力的模拟计算分析
2008年
通过分析SOI基GaN生长的机制,结合热膨胀系数不同而产生应力的原理,利用弹性力学原理,我们对已有的计算多层结构应力的模型进行了简化修改,得到了能够方便的计算SOI基GaN生长过程中的热应力分布的模型。对具体样品的模拟计算表明,GaN层中张应力的值约为0.5GPa,曲率半径为9.1m。SOI结构中SiO2埋层以及顶层硅厚度变化对GaN层的热应力影响很小,但是对SOI自身各层中应力影响较大。通过合理简化模型,我们分析了蓝宝石基以及SiC基GaN生长中的热应力的分布问题。
杨志峰陈静孙佳胤武爱民王曦
关键词：SOIGAN热膨胀系数热应力
光子晶体分束器
一种光子晶体分束器，利用SOI基二维平板空气孔光子晶体的自准直效应实现输入光信号的分束传播，属于半导体光学技术领域，包括SOI衬底、在SOI衬底顶层硅刻蚀形成的空气孔区域以及将空气孔区域与外部光纤或其他器件相连的SOI条...
王曦杨志峰武爱民甘甫烷林旭林李浩
文献传递
定向耦合器
一种定向耦合器，利用二维长方晶格柱状光子晶体的自准直效应实现，属于半导体光学技术领域。该定向耦合器通过在相邻两排硅柱的长边中间引入一定数量、相同尺寸的耦合柱体，这样，在一排柱体中传播的自准直光束被引入的中间柱体耦合到另一...
王曦杨志峰武爱民甘甫烷林旭林李浩
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0