刘哲
- 作品数：6 被引量：3H指数：1
- 供职机构：西安工业大学更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- 电弧源制备氧化铝薄膜的工艺研究
- 氧化铝是光学薄膜中常用的中等折射率材料之一,氧化铝薄膜在可见和近红外范围内具有较高的透射率,主要的物理气相制备方法有热蒸发和反应磁控溅射。热蒸发的离子动能最高为0.1eV,制备的薄膜均为柱状结构;溅射技术将离子动能提高到...
- 刘哲
- 关键词：氧化铝薄膜折射率消光系数沉积速率膜厚均匀性
- 文献传递
- 水域环保枪
- 1．本外观设计产品的名称：水域环保枪。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于环保喷水、喷药工具。;3．本外观设计产品的设计要点：在于产品外形。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。
- 侯兴钊张冲冲刘哲
- 直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究被引量：1
- 2013年
- 采用直流磁过滤电弧源技术,在K9玻璃基底上制备氧化铝薄膜,研究了沉积时的氧气分量和阴极靶电流对薄膜折射率、沉积速率、消光系数和表面粗糙度的影响。结果表明:薄膜折射率、沉积速率和消光系数均随着氧气分量的增加而降低,随着阴极靶电流的升高而增加;薄膜表面粗糙度则随氧气分量或阴极靶电流的增加,呈先减小、后增大的趋势。分析认为,主要是因为随着氧气分量和阴极靶电流的变化,基底表面铝原子和氧气的比例发生了改变,进而影响到薄膜的相关性能。
- 弥谦王昆刘哲
- 关键词：氧化铝薄膜
- 直流磁过滤电弧源沉积氧化钛薄膜的光学特性
- 2012年
- 为了探索电弧源离子镀技术制备的氧化钛薄膜的透射率、消光系数和折射率,利用直流磁过滤电弧源在K9玻璃基底上制备了氧化钛薄膜,通过分光光度计和椭偏仪对薄膜的透射率、折射率和消光系数等光学特性和沉积速率进行分析研究.研究结果表明:波长在400～700nm之间,氧化钛薄膜的折射率为2.3389～2.1189;消光系数在10-3数量级上,消光系数小,薄膜吸收小,薄膜峰值透射率接近K9基底的透射率;沉积时间30min,薄膜的厚度是678.2nm,电弧源离子镀技术沉积氧化钛薄膜的平均速率为22.6nm/min.
- 弥谦刘哲
- 关键词：氧化钛薄膜光学特性沉积速率
- 直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究
- 采用直流磁过滤电弧源技术制备氧化铝薄膜,研究分析了薄膜制备中氧气分量和阴极靶电流分别对薄膜折射率n、沉积速率和消光系数的影响;采用椭偏法对所制备薄膜的光学常数进行测试,沉积速率则通过薄膜厚度与沉积时间的计算得到;实验结果...
- 弥谦王昆刘哲
- 关键词：氧化铝
- 文献传递
- 直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究
- 采用直流磁过滤电弧源技术制备氧化铝薄膜，研究分析了薄膜制备中氧气分量和阴极靶电流分别对薄膜折射率n、沉积速率和消光系数的影响；采用椭偏法对所制备薄膜的光学常数进行测试，沉积速率则通过薄膜厚度与沉积时间的计算得到；实验结果...
- 弥谦王昆刘哲
- 关键词：氧化铝
