于长淞
- 作品数：18 被引量：56H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展被引量：5
- 2013年
- 在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加工技术的发展进行了归纳总结,阐述了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点,指出了掩模对准精度对测量重复性的影响。分析了各种检测方法及存在的主要技术问题,并对小孔三维形貌的测量技术进行了展望。
- 于长淞向阳
- 关键词：光学器件波像差
- 剪切干涉仪精密相移系统的研制被引量：6
- 2014年
- 设计了一种用于迈克尔逊干涉仪横向剪切相移测量的精密相移系统。该系统采用压电陶瓷驱动器作为驱动元件,通过柔性铰链平移机构推动反射镜实现无摩擦、无间隙微位移。采用电容传感器进行位移反馈测量,利用单片机系统作为中央处理器进行PID闭环控制以实现高精度相移。对相移系统的行程及定位精度进行了测试,当输入阶跃位移信号为80nm时,相移系统输出位移精度小于3nm。当相移系统连续位移2μm,每步位移为80nm时,其输出位移的定位精度小于5nm。实验结果表明,相移系统的行程与定位精度满足剪切干涉仪设计要求。
- 于长淞代雷
- 关键词：相移干涉压电陶瓷驱动器柔性铰链闭环控制
- 高精度干涉仪针孔空间滤波器研制被引量：4
- 2013年
- 应用于高重复频率、高功率193 nm准分子激光器会聚光路中的针孔空间滤波器,除了需要考虑它的材料加工难易、厚度、针孔尺寸等因素外,还需考虑材料抗激光损伤特性。本文利用激光损伤理论中一维热流模型对无限厚和有限厚不同金属样品在高峰值功率193 nm准分子激光器照射下的损伤阈值进行了分析。结果表明:铝材料在厚度为1.2μm处比其它金属的损伤阈值高,可达1.16×1010W/cm2,且材料易于加工。利用聚焦离子束技术加工了航空铝材料样品,得到了厚度为1.2和1.5μm的针孔空间滤波器样品。扫描电镜观察其具有较好圆度和内壁粗糙度,基本满足剪切干涉仪对针孔空间滤波器的需求。
- 张春雷向阳于长淞
- 关键词：干涉仪
- 一种六面体垂直误差测量装置及方法
- 本发明涉及光学测量技术领域，具体公开一种六面体垂直度误差测量装置及方法。本发明的测量装置用于测量六面体的垂直度误差，具体包括基座、波面干涉仪、平面参考镜、气浮转台、支撑工装、控制箱以及主控器。本发明提供的测量装置和测量方...
- 彭石军于长淞苗二龙高松涛武东城隋永新杨怀江
- 文献传递
- 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计被引量：5
- 2016年
- 目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难题,针对高NA投影光刻物镜中的一偶次高次非球面,论述了计算全息图(CGH)相位与空间频率的关系,以及相位与空间频率的计算方法;采用点光源照明模式,详细分析了CGH设计时的关键参数的选择方法和避免CGH非工作衍射级次的干扰的方法;采用所选定的设计参数,加工制作了CGH,并用此CGH完成了对非球面的高精度检测。经过多轮加工检测迭代,最终非球面的收敛精度的均方根(RMS)达到了0.46nm。
- 高松涛武东城于长淞
- 关键词：计算全息图非球面投影光刻物镜干涉仪
- 基于小波变换的ESPI图像去噪及边缘提取被引量：9
- 2011年
- 电子散斑干涉条纹的强噪声特性使其信噪比过低,常用的图像滤波方法对于散斑干涉条纹都存在一定的不足。针对散斑条纹的特点,建立了自适应滤波与小波变换相结合的组合迭代滤波方法。在对散斑条纹预处理基础上,通过选择不同的小波函数以及更改分解层次和函数中的阈值达到不同的滤波效果。经反复试验,对于不同的小波基,采用4层分解,阈值为0.15～0.3时与自适应滤波的迭代效果最好。在滤波的基础上对图像进行了二值化,并采用Sobel算子对其进行边缘提取,最终得到电子散斑干涉条纹的边缘分布图。结果表明,该方法可以有效消除条纹图中的散斑噪声,并且条纹的边缘得以较好的保留。
- 于长淞方超
- 关键词：电子散斑干涉小波滤波
- 一种可标定系统误差的系统波像差检测方法
- 本发明提供了一种可标定系统误差的系统波像差检测方法，将被测投影物镜的系统波像差与剪切干涉检测系统的系统误差相减，获得被测投影物镜实际波像差，消除了系统误差的影响，提高了测量精度；采用的小孔空间滤波器可以起到滤波的作用，可...
- 于长淞高松涛彭石军苗二龙隋永新杨怀江
- 文献传递
- 精磨光学元件面形的干涉检测技术研究被引量：8
- 2015年
- 为解决传统接触式检测方法检测精磨光学元件效率低,精度差的问题,提出了一种采用干涉检测技术对精磨光学元件面形进行测量方法,该方法具有非接触,测量效率高,误差小的特点。干涉检测中干涉条纹的对比度与工作波长成正比,与表面粗糙度成反比,干涉条纹对比度直接影响最终的检测结果。因此首先分析干涉条纹对比度与精磨表面粗糙度之间的关系,证明采用可见光干涉仪对精磨粗糙表面进行检测的可行性,并对利用GPI型数字干涉仪检测精磨粗糙表面进行了实验验证,检测面形结果约为PV 1.5μm,并与红外干涉仪以及接触式轮廓仪测量结果进行了对比,验证结果有效性。最后给出了当粗糙度阈值Rq优于150 nm时,可采用该方法进行检测,具有较高的实用价值。
- 代雷吴迪张健张春雷于长淞谷勇强
- 关键词：光学元件
- 基于虚拟仪器技术的电子散斑剪切干涉仪的研究
- 电子散斑干涉技术是一种测量物体表面微小形变的非接触式测量技术，近年来获得了快速发展。本文把虚拟仪器技术引入电子散斑剪切干涉仪，使得仪器可以根据需要添加测量模块，方便功能扩展。基于LabVIEW编写了仪器控制程序，实现了闭...
- 于长淞
- 关键词：虚拟仪器LABVIEWMATLAB小波滤波
- 文献传递
- 镜片中心偏差测量方法发展现状被引量：2
- 2011年
- 研究了国内外镜片中心偏差主要测量方法,按其特点进行了分类,并介绍了每种方法的基本原理,分析了其测量特点和应用条件。
- 方超于长淞
- 关键词：自准直
