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刘晓梅
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西安理工大学
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发文基金:
西安应用材料创新基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
电气工程
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合作作者
赵高扬
西安理工大学材料科学与工程学院
赵娟娟
西安理工大学
雷黎
西安理工大学
彭海军
西安理工大学材料科学与工程学院
张黄莉
西安理工大学材料科学与工程学院
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文献类型
2篇
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1篇
电气工程
1篇
一般工业技术
1篇
理学
主题
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溶胶
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修饰
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溶胶-凝胶法
1篇
溶胶-凝胶法...
1篇
凝胶法制备
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微细图形
1篇
化学修饰
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高温超导
1篇
高温超导薄膜
1篇
YBCO薄膜
1篇
超导
1篇
超导薄膜
机构
2篇
西安理工大学
作者
2篇
赵高扬
2篇
刘晓梅
1篇
雷黎
1篇
张黄莉
1篇
彭海军
1篇
赵娟娟
传媒
1篇
稀有金属材料...
1篇
材料导报
年份
1篇
2010
1篇
2008
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2
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低氟溶胶-凝胶法制备Φ76.2mm YBCO薄膜
被引量:2
2010年
采用低氟溶胶-凝胶法在Φ76.2mm的LaAlO3(LAO)单晶衬底上制备YBCO薄膜,然后对Φ76.2mm的YBCO薄膜样品的微观结构、膜厚及超导性能进行均匀性测试分析。结果表明:所制备的薄膜厚度均匀并具有较好的c轴外延生长取向和均匀的超导电性能。
雷黎
赵高扬
刘晓梅
赵娟娟
关键词:
YBCO薄膜
高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展
2008年
高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展。首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中。
张黄莉
赵高扬
彭海军
刘晓梅
关键词:
高温超导薄膜
微细图形
溶胶-凝胶法
化学修饰
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