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刘璐

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：常熟理工学院物理与电子工程学院更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学

主题

  • 2篇退火
  • 2篇退火时间
  • 2篇光学
  • 2篇光学性
  • 2篇光学性质
  • 2篇AZO
  • 2篇AZO薄膜
  • 2篇表面形貌
  • 1篇紫外
  • 1篇紫外-可见
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇常熟理工学院

作者

  • 2篇侯海虹
  • 2篇王斌
  • 2篇张涛
  • 2篇刘璐

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 2篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
退火时间对AZO薄膜结构及光学性质的影响被引量：1
2015年
采用直流磁控溅射方法，以K9玻璃为衬底制备掺铝氧化锌（ZnO2Al，AZO）薄膜。在300℃真空条件下对样品进行退火处理，研究不同退火时间对薄膜内部微观结构、表面形貌及光学特性的影响。结果表明，最佳退火时间为2h，此条件下的AZO薄膜具有较强的（002）衍射峰，晶粒尺寸为17．2nm，表面结构平整致密，紫外一可见波段的平均透射率为93．47％，光学带隙为3．41eV。
侯海虹张涛王斌刘璐
关键词：AZO薄膜磁控溅射表面形貌
退火时间对AZO薄膜结构及光学性质的影响
采用直流磁控溅射方法,以K9 玻璃为衬底制备掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜.在300 ℃真空条件下对样品进行退火处理,研究不同退火时间对薄膜内部微观结构、表面形貌及光学特性的影响.结果表明,最佳退火时间为2 h,...
侯海虹张涛王斌刘璐
关键词：AZO薄膜表面形貌
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