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朱咸昌

作品数：54 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 49篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 12篇机械工程
  • 6篇理学
  • 4篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇文化科学
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 23篇光刻
  • 19篇光刻机
  • 17篇透镜
  • 15篇物镜
  • 13篇微透镜
  • 12篇视场
  • 12篇透镜阵列
  • 12篇微透镜阵列
  • 12篇大视场
  • 11篇投影光刻
  • 11篇光栅
  • 9篇数值孔径
  • 9篇投影光刻机
  • 9篇投影物镜
  • 9篇焦距
  • 8篇焦距测量
  • 8篇光学
  • 7篇掩模
  • 7篇波像差
  • 6篇放大倍率

机构

  • 54篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 54篇朱咸昌
  • 30篇胡松
  • 16篇赵立新
  • 13篇刘俊伯
  • 12篇吴时彬
  • 12篇曹学东
  • 11篇伍凡
  • 10篇王建
  • 7篇全海洋
  • 5篇杜婧
  • 4篇陈磊
  • 4篇陈铭勇
  • 4篇周清华
  • 4篇刘磊
  • 2篇高洪涛
  • 2篇张鹏
  • 2篇唐燕
  • 2篇邓超
  • 2篇何渝
  • 2篇邢廷文

传媒

  • 2篇光学学报
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 3篇2024
  • 8篇2023
  • 8篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 5篇2016
  • 3篇2015
  • 9篇2014
  • 2篇2013
  • 4篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 54 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法
本发明涉及一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法，属于光学检测技术领域，该方法利用郎奇光栅的0级和1级衍射光干涉产生的条纹完成对微透镜的定焦测量：平行光经过郎奇光栅时，由于光栅的衍射效应产生0级和1级衍射光斑；...
朱咸昌伍凡曹学东吴时彬
文献传递
一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜系统
本发明涉及一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜系统，其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。本发明所涉及的大视场投影曝光物镜系统由20片透镜组成，物镜系统分辨力700nm，放大倍率为‑0.25倍...
杨超胡松朱咸昌刘磊刘锡位浩杰金川韩陈浩磊
一种水平精密调节及锁紧机构
本发明涉及一种水平精密调节及锁紧机构，可用于精密光学系统中光学元件的在线微调和锁紧固定。本发明设计一种双边对称的平行四边形铰链机构，利用平行四边形在驱动力作用下变形实现被调元件的调节。在同一推动调节板上设计两圈相同的调节...
朱咸昌王建陈磊
一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜
本发明公开了一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜，其采用了双远心、28片4组对称结构，其中使用了2个低阶非球面。本设计的像方有效视场可以达到132×132mm，像方数值孔径能提高至0.17以弥补国内光学加工所造成的分辨...
刘俊伯赵立新陈铭勇朱咸昌胡松何渝陈昌龙
文献传递
一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法
本发明公开了一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法，检测装置包括光源及照明系统、滤波系统、被测投影物镜、球透镜、准直系统和波前传感器，沿所述的光源及照明系统输出空间非相干光方向依次是滤波系统、被测投影物镜、球...
王青蓝全海洋胡松刘俊伯朱咸昌王建
一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法
本发明公开了一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法，标定装置包括双通道干涉仪、球透镜、球面反射镜，沿所述的双通道干涉仪输出空间非相干光方向依次是球透镜、球面反射镜，所述的双通道干涉仪和球透镜不处于共焦的位置，...
王青蓝全海洋胡常安刘俊伯胡松李建科朱咸昌王建
一种基于二维双频光栅剪切干涉的纳米级检焦方法
本发明涉及一种基于二维双频光栅剪切干涉的纳米级检焦方法，其作用是实时检测光刻机系统的硅片位置，完成硅片的高精度调平和调焦。检测系统通过二维光栅在子午面和弧矢面由两类不同频率的光栅剪切干涉，根据测量子午和弧矢面内4个区域的...
朱咸昌胡松赵立新
文献传递
一种大视场高数值孔径全球面光刻机投影物镜
本发明公开了一种大视场高数值孔径全球面光刻机投影物镜，其像方有效视场为132×132mm，像方数值孔径可达0.17。物镜采用物方、像方双远心结构，共使用了21片透镜，所有透镜表面都为纯球面。本发明以对称、简单的结构实现所...
邓超邢廷文朱咸昌
一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法
一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法，属于光学检测领域。利用郎奇光栅的泰伯效应，平行光经过郎奇光栅的泰伯自成像周期与光栅周期一致，将星点板置于被测微透镜的物方焦点位置；利用微移台调节星点板并确定星点板的焦物...
朱咸昌伍凡曹学东吴时彬
文献传递
一种微透镜阵列焦距的测量方法
本发明提供一种微透镜阵列焦距的测量方法，该方法结合清晰度函数定焦分析，利用光栅衍射分光的原理测量微透镜阵列焦距，平行入射光经过光栅后，由于高级次衍射光光强较小可忽略，其出射光被分成3束：0级、+1级和-1级，通过测量光栅...
朱咸昌伍凡曹学东吴时彬
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