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王炯

作品数：25 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 4篇理学
  • 3篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 9篇光刻
  • 7篇掩模
  • 6篇衍射
  • 6篇远场
  • 6篇超分辨
  • 5篇等离子体
  • 5篇光场
  • 5篇光学
  • 4篇照明
  • 4篇无掩模
  • 4篇表面等离子体
  • 4篇波段
  • 3篇结构照明
  • 3篇超分辨成像
  • 3篇成像
  • 2篇衍射极限
  • 2篇质膜
  • 2篇设计图案
  • 2篇生物传感
  • 2篇视场

机构

  • 25篇中国科学院
  • 2篇中国科学院研...

作者

  • 25篇王炯
  • 24篇罗先刚
  • 19篇赵泽宇
  • 14篇王长涛
  • 14篇王彦钦
  • 11篇马晓亮
  • 10篇李雄
  • 10篇蒲明薄
  • 10篇蒲明博
  • 10篇胡承刚
  • 7篇姚纳
  • 4篇杨磊磊
  • 4篇刘利芹
  • 4篇高平
  • 3篇刘玲
  • 3篇张雨东
  • 3篇李国俊
  • 2篇刘凯鹏
  • 2篇曾波
  • 1篇张小军

传媒

  • 2篇光学学报
  • 1篇光电工程

年份

  • 2篇2023
  • 1篇2022
  • 3篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2018
  • 5篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种照明深度可调的宽波段光源超分辨表层显微成像方法
本发明公开一种照明深度可调的宽波段光源超分辨表层显微成像方法，其中，用于所述超分辨表层显微成像的照明器件从下到上依次包括：透明基底，光栅，金属/介质多层膜层；所述显微成像方法利用金属/介质多层膜层在光栅的激发下产生的深亚...
罗先刚赵泽宇王长涛孔维杰王彦钦刘凯鹏刘玲蒲明博高平王炯
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一种宽带远场超分辨成像装置
本发明公开了一种宽带远场超分辨成像装置，本发明通过在近无色散、宽带、衍射受限成像系统中，引入无色散的波前调制模块，实现局域视场范围内的超分辨成像，并利用扫描视场光阑的方式实现大视场超分辨成像。本发明成像装置包括：物镜模块...
罗先刚王长涛王彦钦蒲明博赵泽宇孔维杰王炯李雄马晓亮高平
一种红外波段的准连续的超表面分束器件
本发明提供一种红外波段的准连续的超表面分束器件，包括基底部分和基底上的准连续超表面结构。该器件由传统的标量设计方法提供初始解再进行后续的矢量优化设计而成，其能将一束光束分为若干束传播方向不同的、能量分布可控的光束。其中，...
罗先刚蒲明博王炯张飞李雄李金哲
一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法
本发明公开了一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法，采用器件主要由透明基底、纳米结构层和波导共振多层膜构成。对于确定波长的平面波照射透明基底，透明基底上的纳米结构层将照明平面波衍射为各级次平面波。利用波导共振多...
罗先刚王长涛赵泽宇王彦钦姚纳胡承刚蒲明薄王炯刘利芹杨磊磊
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一种基于无掩模直写光刻的光学窗口透射波前修正方法
本发明提供了一种基于无掩模直写光刻的光学窗口透射波前修正方法，包括以下步骤：步骤S1、提供一块光学窗口材料；步骤S2、基片预抛光：采用研磨抛光方法将基片进行预处理，使其透射波前接近加工指标要求，采用干涉仪检测光学窗口的透...
罗先刚王炯蒲明博马晓亮李雄赵泽宇
文献传递
一种基于双光束聚合引发以及抑制的高分辨成像光刻方法
本发明提供一种基于双光束聚合引发以及抑制的高分辨成像光刻方法，主要步骤为：(1)选择或配置一种光刻胶，其含有对不同波长激光响应的聚合引发剂和聚合抑制剂；(2)选择对应的聚合引发激光器和聚合抑制激光器；(3)制作两个掩模版...
罗先刚李雄王长涛王彦钦赵泽宇胡承刚蒲明薄王炯高国函马晓亮
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超高斯相位型光瞳滤波器轴向超分辨性能被引量：6
2010年
研究了超高斯相位型光瞳滤波器的轴向超分辨性能。通过数值模拟,使用新的参数T,w讨论确定了三区二元相位型光瞳滤波器的超分辨区域。将超高斯相位型与二元相位型滤波器对比,分析相同参数下两种光瞳滤波器的轴向超分辨能力,进而讨论超高斯相位型滤波器的轴向超分辨性能随其阶数的变化关系。超高斯型滤波器与相位型相比,超分辨能力略有降低,但其旁瓣能量也有所降低,因此能量利用率有所提高。
何毅张雨东李国俊王炯罗先刚
关键词：成像系统超分辨滤波器超高斯
一种多波长共焦衍射元件及其设计方法
本发明公开了一种多波长共焦衍射元件及其设计方法，首先确定元件口径、焦距及使用波长；然后根据单波长聚焦元件设计公式确定每个波长对应的台阶加工区域及台阶高度；对多个单波长元件对应的台阶加工区域进行逻辑运算优化，得到新的台阶加...
刘盾汪利华王炯高国涵石恒边疆杜俊峰吴时彬
文献传递
用于干法刻蚀的修正板的设计方法、修正板和干法刻蚀方法
本公开提供一种用于干法刻蚀的修正板的设计方法、修正板和高均匀性干法刻蚀方法，设计方法包括：S1，根据被刻蚀样品表面刻蚀深度分布H(r<Sub>i</Sub>)或刻蚀速度分布V(r<Sub>i</Sub>)，得到修正板在被...
罗先刚冉朋赵泽宇王炯
一种增强表面等离子体光场激发强度的方法
本发明公开了一种增强表面等离子体光场激发强度的方法，采用器件包括透明基底、纳米结构层、金属/介质多层膜和激发增强层；透明基底上的纳米结构层将照明平面波衍射为各级次平面波。利用金属/介质多层膜的超衍射频谱操控光学特性，对于...
罗先刚赵泽宇王长涛王彦钦姚纳胡承刚蒲明薄王炯高国函马晓亮
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