张昔峰
- 作品数：8 被引量：11H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本实用新型公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本实用新型中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚...
- 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟
- 文献传递
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...
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- 基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统
- 2012年
- 采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头。在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振动状态,同时,PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力。所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统。介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三维工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试,并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描,证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性。
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- 关键词：定位控制扫描探针显微镜
- 基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法
- 本发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，...
- 黄强先王毛翠张昔峰黄帅赵剑王广红
- 具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台被引量：11
- 2013年
- 基于宏微组合驱动方式,提出一种具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台设计方案来减小精密测量系统中由于工作台定位及角度误差引入的测量误差。首先,从原理上对设计方案进行了论证。该方案中宏动工作台和微动工作台共用位置反馈系统构成闭环控制,并基于压电陶瓷致动器及柔性铰链设计的六自由度微动工作台对宏动工作台进行直线定位误差及角度误差的综合补偿。然后,基于设计方案设计了宏动工作台及微动工作台的结构。最后,对安装调试后的宏微工作台系统进行了直线组合定位测试及角度误差修正测试。实验结果表明,该工作台系统的宏动行程达到了200mm×200mm;在闭环控制下,通过六自由度微动工作台的补偿作用可使各角度偏差由上百秒降至10″以内,由此工作台系统在全行程内的直线定位误差可由3μm降至25nm以内。实验结果验证了提出的组合定位系统的有效性。
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- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...
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- 基于石英音叉的三维谐振触发测头
- 本实用新型公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，在X、Y方向上的振...
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- 基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法
- 本发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，...
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