王世通
- 作品数：2 被引量：19H指数：2
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 大口径光学元件表面灰尘与麻点自动判别被引量：8
- 2014年
- 在大口径光学元件表面疵病初检时,灰尘和麻点由于形态类似,不易区分。针对该问题,提出了一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法。该判别方法以既有的疵病检测系统为基础,根据灰尘麻点的暗场成像特点,选取了合适的特征并根据因子分析理论对特征进行变换,最后基于贝叶斯判别原理对灰尘麻点进行分类。采用自制定标板建立了灰尘麻点训练样本库,并进行多组实验,选取了合适的判别函数,最后进行了对未知样品表面灰尘麻点的区分。实验结果表明,该判别方法的正确率可以达到95%以上。目前此判别方法已经用于惯性约束聚变系统中大口径光学元件表面灰尘与麻点自动区分。
- 李璐杨甬英曹频严路王世通陈晓钰沈亦兵刘东
- 关键词：表面疵病麻点模式识别
- 光学元件表面缺陷散射光成像数值模拟研究被引量：13
- 2015年
- 对于精密光学元件表面微米亚微米量级的表面缺陷,光在缺陷处会产生强烈的衍射和散射效应,其在像面的分布情况不能简单地使用几何光学进行解释。采用时域有限差分方法(FDTD)建立了光学元件截面为三角形、矩形的表面缺陷的电磁理论模型,模拟仿真得到了缺陷附近区域及像面的散射光分布情况。并使用电子束曝光、反应离子束刻蚀工艺制作了矩形截面的缺陷样本板,对样本缺陷进行了散射成像实验,得到了暗场图像的灰度分布情况,并与理论仿真结果进行了比对。实验中得到的表面缺陷的像面光强分布情况与理论模拟基本吻合,为光学元件的加工制造和缺陷检测的尺度标定提供了理论依据和参考。
- 王世通杨甬英赵丽敏柴惠婷刘东白剑沈亦兵
- 关键词：表面光学散射时域有限差分法
