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胡杰

作品数:3 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学技术大学更多>>
相关领域:电子电信医药卫生更多>>

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇医药卫生

主题

  • 1篇电气
  • 1篇信息提取
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻传感器
  • 1篇移植物抗宿主
  • 1篇移植物抗宿主...
  • 1篇应力
  • 1篇语言模型
  • 1篇诊断标志物
  • 1篇诊断试剂
  • 1篇诊断试剂盒
  • 1篇植物抗宿主病
  • 1篇试剂
  • 1篇试剂盒
  • 1篇尿液
  • 1篇外泌体
  • 1篇微机电系统
  • 1篇协议书
  • 1篇抗宿主病
  • 1篇机电系统

机构

  • 3篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇安徽省立医院...

作者

  • 3篇胡杰
  • 1篇李向阳
  • 1篇沈文江
  • 1篇周鹏

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2025
  • 1篇2023
  • 1篇2022
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构被引量:4
2022年
在微机电系统微镜转轴处集成角度传感器,可用来检测镜面偏转角度实现闭环控制,但封装和实际工况的扰动会给微镜结构引入额外应力,造成压阻角度传感器的灵敏度漂移。为提高微镜在应用场景中偏转角的控制精度,减小封装热应力给集成压阻角度传感器带来的误差信号,提出了一种应力隔离结构。当环境温度变化时,微镜的封装会引入额外的应力,通过理论计算得到这种应力会引起芯片的轴向形变。为探究轴向形变对压阻角度传感器输出特性的影响,建立了压阻传感器的受力分析模型,计算结果表明,轴向应力会改变压阻角度传感器的输出幅值,是导致误差信号的主要因素。利用微纳加工技术制备集成压阻角度传感器的微镜,实验结果表明:传统结构芯片在12μm的轴向拉伸和轴向压缩下,压阻角度传感器的灵敏度从19.22 mV/°增加到20.16 mV/°,变化幅度为0.94 mV/°,其灵敏度随着形变量呈现明显的发散趋势;而有应力隔离结构的芯片在相同形变条件下,传感器的灵敏度则从19.37 mV/°增加到19.67 mV/°,变化幅度收敛至0.3 mV/°,有效地提高了角度传感器在不同形变条件下的稳定性。在机械可靠性方面,两种结构均通过了抗冲击和抗振动测试。
钱磊胡杰单亚蒙王俊铎周鹏周鹏
关键词:微机电系统压阻传感器
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胡杰沈佐君
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共1页<1>
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