周志涛
- 作品数：6 被引量：7H指数：2
- 供职机构：西安交通大学机械工程学院精密工程与光学测试技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 一种光纤传输的红外吸收式甲烷气体的检测方法
- 本发明针对基于半导体激光器的近红外光纤检测方法的高成本、实用化程度低的不足，公开了一种基于微分光器的光纤传输红外吸收式甲烷气体的检测方法，其特征是，采用宽带红外光源、闪耀光栅、传输光纤、吸收气室、光电探测器、信号处理电路...
- 王海容张英蒋庄德周志涛张群明孙国良高鲜妮
- 文献传递
- TiN模板热压印中的若干关键影响因素仿真分析被引量：3
- 2011年
- 在热压印过程中,模板和基体上的聚合物直接物理接触,压印压力、温度和时间是决定压印效果的主要因素。模板是否完全填充,对压印质量有着至关重要的影响,为了获得正确的压印参数,有必要了解在热压印过程中的聚合物流动机理。文中使用Ansys有限元软件数值仿真热压印过程中的相关问题。首先,建立超弹模型,仿真分析热压印过程中压力与聚合物变形的关系,仿真结果表明,单纯提高压力对改善压印效果并不明显。其次,研究冷却降温过程中聚合物应力分布情况,研究显示降温过程中存在应力集中,因此,在热压印时应该在玻璃点温度以上去除压力,避免压印缺陷产生。最后,仿真分析模板热膨胀系数对压印结果的影响,结果表明,由于模板与光刻胶热膨胀系数不同,在降温过程中存在应变集中现象。因此,应该选择热膨胀系数与光刻胶尽量接近的材料作为模板。
- 孙国良王海容高鲜妮周志涛蒋庄德
- 关键词：热压印应力分布热膨胀系数
- 氮化钛硬涂层纳米压印模板制备及其性能研究
- 周志涛
- 关键词：氮化钛数值仿真
- MMI微压印模板的设计与研究被引量：2
- 2008年
- 微纳米压印技术作为代替传统光刻的一种新兴技术,有着重要的应用潜力。近年来在直接加工微器件如微流体、微生物器件,特别是在微平面光学器件方面得到了较快的发展。采用微压印法直接加工聚合物微平面光学器件是一个具有实用价值和研究价值的课题。该文首先讨论并选取了聚甲基丙稀酸甲酯(PMMA),研究了聚合物多模干涉(MMI)耦合器器件的微压印模板的设计和加工,讨论了压印模板材料的影响。根据典型基于MMI聚合物分光器件模板的设计实例,由聚合物的光学性能和分光要求,设计出模板的几何尺寸,通过微细加工工艺加工出模板,并给出了初步的热压印实验结果。
- 王海容蒋庄德刘俊明周志涛张英
- 一种光纤传输的红外吸收式甲烷气体的检测方法
- 本发明针对基于半导体激光器的近红外光纤检测方法的高成本、实用化程度低的不足，公开了一种基于微分光器的光纤传输红外吸收式甲烷气体的检测方法，其特征是，采用宽带红外光源、闪耀光栅、传输光纤、吸收气室、光电探测器、信号处理电路...
- 王海容张英蒋庄德周志涛张群明孙国良高鲜妮
- 文献传递
- 基于TiN涂层/玻璃基体的热压印模板的制备与性能被引量：3
- 2008年
- 对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要。在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板。首先采用直流磁过滤电弧在玻璃上沉积TiN薄膜,然后,通过聚焦离子束在薄膜上加工出最小线宽71nm的栅型结构,最后,使用所加工的模板,进行热压印实验,获得了良好的压印结果。实验结果表明,TiN作为模板材料可以获得高保真度的纳米图案,并且由于TiN比Si或SiO2具有更高硬度和强度,玻璃基体也具有很好的机械性能,由TiN/玻璃系统制备的压印模板的机械性能和使用寿命较之Si或SiO2基模板得到很大提高。
- 周志涛王海容蒋庒德刘冲
- 关键词：纳米压印光刻热压印聚焦离子束硬质涂层
