2025年1月29日
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卢怡丹
作品数:
5
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王立伟
中国科学院大学
李向阳
中国科学院上海技术物理研究所
张燕
中国科学院上海技术物理研究所
刘秀娟
中国科学院上海技术物理研究所
常超
中国科学院上海技术物理研究所
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作者
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卢怡丹
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李向阳
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王立伟
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常超
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张燕
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InGaN紫外探测器的制备与性能研究
被引量:5
2014年
介绍了InGaN紫外探测器的研制过程,并给出了器件的性能。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长GaN外延材料,通过刻蚀、钝化、欧姆接触电极等工艺,制作了正照射单元In0.09Ga0.91N紫外探测芯片。并对该芯片进行了I-V特性、响应光谱等测试,得到芯片的暗电流Id为1.00×10-12 A,零偏压电阻R0为1.20×109Ω。该紫外探测器在360~390nm范围内有较高的响应度,峰值响应率在378nm波长处达到0.15A/W,在考虑表面反射时,内量子效率达到60%;优质因子R0A为3.4×106Ω·cm2,对应的探测率D*=2.18×1012 cm·Hz1/2·W-1。
卢怡丹
王立伟
张燕
李向阳
关键词:
P-I-N
紫外探测器
伏安特性
响应光谱
基于USB3.0的红外数字图像注入式仿真系统及方法
本发明公开了一种基于USB3.0的红外数字图像注入式仿真系统及方法,它主要用于为红外图像实时信号处理平台提供仿真环境。该系统包括一台带有USB3.0接口的主机和一个红外数字图像注入式仿真器,其中仿真器又包括USB3.0控...
张昊
汤心溢
李争
岳振
卢怡丹
文献传递
一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器及制备方法
本发明公开一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器及制备方法,所述的双层钝化膜为利用光刻技术保留在器件表面和台面侧面的上、下两层的双层Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>薄膜,其制备工艺为:在AlGa...
刘秀娟
张燕
李向阳
王立伟
卢怡丹
常超
文献传递
一种单片集成式红外微透镜线列的制备方法
本发明公开了一种单片集成式红外微透镜线列的制备方法,该方法工艺上采用光刻套刻结合ICP干法刻蚀的手段,然后采用化学湿法腐蚀制备出曲率半径均匀的微透镜线列。本方法为优化单片集成红外微透镜列阵的聚光能力提供了依据,对于提高器...
徐鹏霄
乔辉
张可锋
李向阳
王仍
刘诗嘉
徐斌
刘秀娟
卢怡丹
王立伟
常超
文献传递
一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器
本实用新型公开一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器,器件结构为:在蓝宝石衬底上依次为AlN缓冲层、n型AlGaN层、i型AlGaN层、p型AlGaN层、下层Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>钝化...
刘秀娟
张燕
李向阳
王立伟
卢怡丹
常超
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