戴震宇
- 作品数：5 被引量：7H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
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- 一种扭摆式微型磁敏感器
- 本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解...
- 任大海尤政武凌祺阎梅芝戴震宇
- 文献传递
- 用于微型温差发电器的Bi-Te薄膜加工、测试与集成
- 戴震宇
- 关键词：热电材料溅射电化学沉积
- 一种扭摆式微型磁敏感器
- 本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解...
- 任大海尤政武凌祺阎梅芝戴震宇
- 文献传递
- Bi-Te-Se热电薄膜的电化学沉积被引量：1
- 2011年
- 在含有Bi 3+、HTeO2+、Se4+离子的水溶液中通过电化学方法实现了Bi2Te3-ySey热电薄膜沉积,研究了电沉积Bi2Te3-ySey的阴极极化曲线及热电薄膜的生长过程,通过电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)等手段对热电薄膜进行了形貌、成分分析。结果表明电解液的离子组成、沉积电位对薄膜成分、形貌有较大影响。在-0.07V沉积电位下制备的热电薄膜Bi2Te2.75Se0.95晶粒大小均匀,结构致密。
- 任大海戴震宇尤政
- 关键词：热电薄膜热电转换电沉积
- 基于微机电系统技术的微型热电致冷器研究进展被引量：6
- 2010年
- 介绍热电材料、热电器件的原理及发展历史,从材料及结构两方面,对基于微机电系统加工工艺的微型热电致冷器的最新研究进展进行综述,比较不同材料及不同结构的性能特点,对块体热电材料和低维热电材料的研究进展进行介绍,着重分析超晶格薄膜材料及Cross-Plane型器件,指出研究具有更高优值系数的新型材料,在维持Seebeck系数不变的同时提高电导率并降低热导率,及采用新的加工工艺优化致冷器的结构,减小接触电阻、接触热阻等,是提高热电致冷器性能的有效手段。
- 任大海卢凯戴震宇尤政
- 关键词：微机电系统热电致冷器超晶格薄膜
