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于庆伟
作品数:
7
被引量:1
H指数:1
供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
荣丽梅
电子科技大学微电子与固体电子学...
杜龙欢
电子科技大学微电子与固体电子学...
杜江峰
电子科技大学微电子与固体电子学...
杜江锋
电子科技大学
郑小明
电子科技大学微电子与固体电子学...
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作者
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于庆伟
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荣丽梅
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杜龙欢
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杜江锋
3篇
杜江峰
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周龙
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谢涛
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郑晓明
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郑小明
传媒
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微纳电子技术
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2013‘全...
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2016
3篇
2014
2篇
2013
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一种基于ANSYS层叠结构体初始应力的加载方法
一种基于ANSYS层叠结构体初始应力的加载方法,包括以下步骤:(1)在ANSYS中建立层叠结构体的仿真模型;(2)模拟层叠结构体初始应力的引入过程,得到初始应力文件;(3)加载层叠结构体的初始应力分两步:①通过读取支反力...
荣丽梅
于庆伟
肖聪
周龙
杜江锋
文献传递
一种腐蚀液的用途和腐蚀方法
本发明公开了一种腐蚀液的用途,应用于腐蚀钇钆石榴石铁氧体样品,所述腐蚀液为质量分数为60%~90%的磷酸溶液。相关腐蚀方法,包括以下步骤:(1)对钇钆石榴石铁氧体样品进行过粗磨、细磨、机械抛光处理;(2)将处理过的样品使...
荣丽梅
郑晓明
谢涛
杜龙欢
于庆伟
杜江峰
文献传递
一种基于ANSYS层叠结构体初始应力的加载方法
一种基于ANSYS层叠结构体初始应力的加载方法,包括以下步骤:(1)在ANSYS中建立层叠结构体的仿真模型;(2)模拟层叠结构体初始应力的引入过程,得到初始应力文件;(3)加载层叠结构体的初始应力分两步:①通过读取支反力...
荣丽梅
于庆伟
肖聪
周龙
杜江锋
文献传递
一种腐蚀液的腐蚀方法
本发明公开了一种腐蚀液的用途,应用于腐蚀钇钆石榴石铁氧体样品,所述腐蚀液为质量分数为60%~90%的磷酸溶液。相关腐蚀方法,包括以下步骤:(1)对钇钆石榴石铁氧体样品进行过粗磨、细磨、机械抛光处理;(2)将处理过的样品使...
荣丽梅
郑晓明
谢涛
杜龙欢
于庆伟
杜江锋
文献传递
Si/SiO_2界面的原子结构模型
2013年
理论计算已逐渐成为从原子尺度上研究Si/SiO2界面特性的必要手段,选择合适的Si/SiO2界面原子结构模型是准确计算Si/SiO2界面特性的前提。梳理比较了Si/SiO2界面特性研究方面目前主要的实验研究结果及其理论计算结果,介绍了Si/SiO2界面原子结构模型及其特点。并从Si衬底晶向、过渡区的组成与厚度以及电子特性方面,分析了这些模型的优缺点及其适用性。认为以亚氧化态Si作为过渡层的模型能更好地解释实验数据,并适用于界面结构特性和电子特性等的仿真计算。本研究对改进Si/SiO2原子结构模型、研究界面缺陷以及在原子尺度上分析界面缺陷对器件特性影响有着重要的意义。
杜龙欢
荣丽梅
杜江峰
于庆伟
郑小明
关键词:
原子结构
电子特性
氧化硅
过渡层
器件结构应力模拟方法及微带隔离器力学可靠性研究
随着电子器件微型化和集成化的进一步发展,应力模拟在器件的制作工艺改进、结构优化设计和可靠性研究等方面得到越来越广泛的应用。由于器件工作环境日益严苛以及器件制作流程愈加复杂,为了使仿真过程更贴近工艺或试验过程,对初始应力加...
于庆伟
关键词:
微带隔离器
文献传递
Si/SiO2界面的原子结构模型研究
理论计算已逐渐成为从原子尺度上研究Si/SiO2界面特性的必要手段,选择合适的Si/SiO2界面原子结构模型是准确计算Si/SiO2界面特性的前提.本文梳理比较了Si/SiO2界面特性研究方面目前主要的实验研究结果及其理...
杜龙欢
荣丽梅
杜江峰
于庆伟
郑小明
关键词:
氧化硅
原子结构
电子特性
文献传递
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