董健
- 作品数：76 被引量：54H指数：4
- 供职机构：浙江工业大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金浙江省重中之重学科开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
- 一种浸润性梯度表面的加工方法
- 一种浸润性梯度表面的加工方法，包括如下步骤：(1)设计和绘制版图：绘制示意图，版图结构布局具有斐波那契螺旋阵列结构；设计版图参数,硅片区域内版图中微圆柱圆心与圆域圆心距离变化；绘制版图，实现圆域内从中心向外由疏到密的结构...
- 董健赵逸平胡光辉胡建良潘新科张王明郭有海卞银波
- 一种硅基上非晶硅与玻璃的阳极键合方法及其应用
- 本发明提供了一种硅基绝缘层上非晶硅与玻璃的阳极键合方法，所述方法为：（1）在硅基底面上沉积一层绝缘层；（2）以光刻胶作掩膜，对绝缘层进行刻蚀，将硅基底面与非晶硅将要连通的区域暴露出来形成开槽区；（3）在开设有开槽区的硅基...
- 董健蒋恒孙笠
- 文献传递
- 一种用于调节燃气灶具支架高度的机构
- 一种用于调节燃气灶具支架高度的机构，包括设置在底座上的电机驱动装置和一对导轨，导轨上设有可沿导轨做水平运动的推板装置，电机驱动装置驱动连接推板装置；推板装置的上方设有支撑座，支撑座上设有可沿支撑座做竖直运动的小车滑轮装置...
- 董健杨仁川胡光辉赵逸平卞银波胡建良潘新科张王明郭有海
- 一种单芯片电容式硅微机械麦克风的结构与动态特性分析
- 本文给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析。微机械麦克风的两个电极由一个三层复合敏感膜和一个金属铜底板构成,敏感膜与底板之间采用牺牲层技术形成空气间隙。复合敏感膜中间一层是掺杂硼的多晶硅,上下两层是氮化...
- 董健计时鸣张立彬
- 关键词：动态特性
- 文献传递
- 一种硅基微纳米二级结构超疏水表面的制备方法
- 本发明涉及一种利用湿法腐蚀和溶胶——凝胶法制备硅基微纳米二级结构超疏水表面的方法，用于滴状冷凝自集水领域。包含制备硅基超疏水层微米结构；制备硅基超疏水层微米结构；进行接触角测量等三个步骤，本发明采取湿法腐蚀和溶胶——凝胶...
- 董健金焱立龙芝剑董鹤
- 文献传递
- 一种压阻式加速度传感器及其制造方法
- 一种压阻式加速度传感器及其制造方法。本发明公开了一种基于阳极键合封装的压阻式加速度传感器，所述的传感器具有第一键合玻璃-硅基-第二键合玻璃三明治结构；所述的硅基通过采用表面微加工技术与体微加工技术制造带有质量块、淡硼扩散...
- 蒋恒孙笠董健
- 纳米压痕法测磁控溅射铝薄膜屈服应力被引量：4
- 2016年
- 为了在考虑残余应力下测量出磁控溅射铝薄膜的屈服应力,提出了一种实验测量方法,通过曲率测试法和球形压头纳米压痕法测出磁控溅射铝薄膜的屈服应力.建立球形压痕力学模型,并用ANSYS对球形压痕进行力学有限元仿真,利用直流磁控溅射技术在硅基上淀积一层1μm厚的铝薄膜,首先通过曲率测试法测量膜内等双轴残余应力,再利用最小二乘曲线拟合法从薄膜/基底系统的球形压头纳米压痕实验数据中提取出铝薄膜的屈服应力,测得磁控溅射铝薄膜的屈服应力为371±89 MPa.该方法也可以用来研究其他材料的薄膜和小体积材料的力学特性.
- 董健龙芝剑孙笠蒋恒
- 关键词：屈服应力纳米压痕
- 一种给定表面二级微纳结构下的液滴接触角求取方法
- 一种给定表面二级微纳结构下的液滴接触角计算方法，包括以下步骤：采用微纳米几何测量仪进行测量所给定的二级微纳结构的结构尺寸，测得微纳米结构的边长、间距和高度；采用Young方程、Wenzel方程和CB方程推导中的一般假设，...
- 董健龙芝剑孙笠金焱立董鹤
- 文献传递
- 一种硅基上非晶硅与玻璃的阳极键合方法及其应用
- 本发明提供了一种硅基绝缘层上非晶硅与玻璃的阳极键合方法，所述方法为：（1）在硅基底面上沉积一层绝缘层；（2）以光刻胶作掩膜，对绝缘层进行刻蚀，将硅基底面与非晶硅将要连通的区域暴露出来形成开槽区；（3）在开设有开槽区的硅基...
- 董健蒋恒孙笠
- 一种液滴粒径与速度检测平台及其控制方法
- 本发明公开了一种液滴粒径与速度检测平台及其控制方法，包括计算机、喷头移动平台、工业相机、激光粒度仪及风洞；所述的计算机分别与喷头移动平台、工业相机、激光粒度仪、以及风洞电信号连接，用于控制喷头移动平台的移动、接受工业相机...
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