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陆珊珊
作品数:
4
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供职机构:
广西大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
沈晓明
广西大学
符跃春
广西大学
何欢
广西大学
梁春园
广西大学
黄瀛
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机构
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广西大学
作者
4篇
陆珊珊
3篇
何欢
3篇
符跃春
3篇
沈晓明
1篇
黄瀛
1篇
梁春园
年份
1篇
2021
1篇
2019
1篇
2017
1篇
2016
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激光分子束外延生长GaN薄膜
GaN属于第三代半导体材料,具有化学性质稳定、带隙宽、电子迁移率高等特点,在光电和微电子器件、大功率电子探测、高温和高频电子器件等方面具有良好的发展前景。异质外延生长GaN薄膜常用Al2O3和Si作为衬底,但由于GaN与...
陆珊珊
关键词:
半导体薄膜
氮化镓
激光能量
表面形貌
一种双光路脉冲激光在Si(100)基片上沉积InGaN薄膜的方法
本发明涉及一种双光路脉冲激光沉积设备及其应用在Si(100)基片上沉积InGaN薄膜的方法,所述设备能够将激光分为双路对靶材进行照射,具体方法为:将清洁好的Si(100)衬底放入基片台上加热至650℃~750℃并保温50...
陆珊珊
刘宇伦
莫观孔
莫组康
沈晓明
何欢
符跃春
文献传递
一种双光路脉冲激光在Si(100)基片上沉积InGaN薄膜的方法
本发明涉及一种双光路脉冲激光沉积设备及其应用在Si(100)基片上沉积InGaN薄膜的方法,所述设备能够将激光分为双路对靶材进行照射,具体方法为:将清洁好的Si(100)衬底放入基片台上加热至650℃~750℃并保温50...
陆珊珊
刘宇伦
莫观孔
莫组康
沈晓明
何欢
符跃春
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一种小型太阳能光纤导光与电光源混合照明装置
一种小型太阳能光纤导光与电光源混合照明装置,所述菲涅尔透镜安装在菲涅尔透镜支架上端,菲涅尔透镜支架下端安装在跟踪转盘上,跟踪转盘通过转动副安装在转盘支架上,电机带动转盘支架在水平方向上旋转,电机安装在机壳中,电动伸缩杆一...
孙端君
梁春园
黄瀛
覃嘉媛
陆珊珊
符跃春
何欢
沈晓明
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