杨文
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 一种在001面硅片上腐蚀出111硅面的方法
- 一种在001面硅片上腐蚀出111硅面的方法，涉及半导体MEMS器件。包括以下步骤：将(001)面硅片清洗后，用BOE去除表面的氧化层，在(001)面硅片表面生长一层SiO<Sub>2</Sub>薄膜作为掩膜；光刻显影出沿...
- 张保平杨文龙浩
- 文献传递
- 硅基微纳器件加工技术研究
- 微纳米材料表现出许多传统材料所不具备的新特性,随着科学技术的不断进步,纳米技术已然成为了最热门的研究领域之一。集成度的提高依赖于微纳米器件的尺寸的进一步缩小,微纳米加工技术的提高是器件尺寸缩小的基础。微纳米加工技术主要可...
- 杨文
- 关键词：硅探针
- 一种铑碲合金空心纳米管的制备方法
- 一种铑碲合金空心纳米管的制备方法，涉及纳米管。提供方法简单易行，可大量制备晶态良好、原子利用率高、高稳定性的一维铑碲中空纳米管状材料的一种铑碲合金空心纳米管的制备方法。制备碲纳米线；制备RhTe合金纳米管；将得到的RhT...
- 谢水奋王伟许清池杨文
- 文献传递
- 中红外硅微透镜阵列的离焦效应（英文）被引量：3
- 2017年
- 采用严格数值算法对中红外硅微透镜阵列进行了模拟,该微透镜阵列特征尺寸小于波长工作波长.研究发现该微透镜阵列存在一个显著的离焦效应,其离焦量达到0.4左右,超出了现有的传统理论模型预测范围.对微透镜阵列进行了制作和焦距测试,发现测试结果跟数值模拟基本吻合.微纳衍射光学集成系统中透镜离焦量是系统集成非常重要的一个参数,该研究结果为硅微透镜阵列和中红外探测器光学集成提供有效参考.
- 左海杰杨文张江勇应磊莹张保平侯治锦陈洪许司俊杰
- 关键词：亚波长结构FDTD红外探测器微透镜阵列
- SiO_2微盘腔的湿法腐蚀工艺研究
- 2017年
- SiO_2回音壁模式(whispering gallery mode,WGM)的光学谐振腔具有品质因子Q值高、模式体积小、制作简单等优点,在腔量子电动力学、生物传感器、滤波器、非线性光学等领域具有非常好的应用前景.采用热氧化生长SiO_2、光刻图形化、磁控溅射生长Cr掩膜、HF缓冲液湿法腐蚀SiO_2、KOH溶液湿法腐蚀Si并去除Cr掩膜等工艺,得到了周期化、尺寸不同的SiO_2微盘腔,其直径分别为20,40和60μm.利用原子力显微镜表征微盘腔表面的粗糙度,均方根表面粗糙度仅为0.469nm.在未经任何表面处理或者激光处理的情况下,利用连续波长可调激光器,通过光纤锥与微盘腔耦合,透射谱测量得到微盘腔的自由光谱范围(free spectrum range,FSR)为λFSR=9.6nm,Q值约为1×10~4.
- 杨文龙浩郭长磊江水森张保平蔡志平应磊莹
- 关键词：回音壁Q值
