设计制备出三明治结构的电容式柔性压力传感器,并对其性能进行研究。该传感器以银纳米线为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底,同时采用毛面玻璃和光面玻璃分别作为柔性衬底的制备模板,制备出微纳结构和平面结构的PDMS薄膜。然后采用喷涂法制备Ag NWs/PDMS复合电极,以另外一层PDMS为介电层,将两电极面对面封装,得到电容式柔性压力传感器,最后系统研究了传感器的电极微纳结构对器件性能的影响。本文研究表明,具有微纳结构的AgNWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为1.0 k Pa^(-1),而平面结构的Ag NWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为0.6 k Pa^(-1),由此可知具有微纳结构的柔性衬底能够显著提高器件的灵敏度。
