王俊巍
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术农业科学更多>>
- 宽温区工作压力传感器热力学研究被引量：4
- 2017年
- 介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力,对弹性膜片的受热情况进行了分析,对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比,利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力影响、降低传感器的热零点漂移。通过膜片结构选择和设计、材料选择、工艺优化和控制等可以使硅—蓝宝石压力传感器在-55~350℃宽温度范围内工作时热漂移不大于0.015%FS/℃,提高了宽温区工作时传感器的热稳定性。
- 姚东媛谢胜秋王俊巍吴佐飞
- 关键词：压力传感器热特性
- 低温压力传感器的研制
- 2017年
- 介绍了低温绝压传感器的研制过程,采用钛合金-硅-蓝宝石、陶瓷密封组件、低温电缆、插针连接等,通过材料选择和结构设计及优化,提高传感器整体耐低温的能力和绝压腔密封可靠性。研制出量程为(0~500)kPa、精度不大于0.2%FS、热漂移不大于0.03%FS/℃、工作温度范围为(-100~200)℃的低温压力传感器,可用于电离性、腐蚀性高低温介质压力的直接测量。
- 姚东媛谢胜秋王俊巍
- 关键词：传感器
- 硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析被引量：2
- 2017年
- 介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10^(-10)Pa·m^3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求。
- 姚东媛夏航王俊巍谢胜秋
- 关键词：氧化铝陶瓷
