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马佳

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：广西大学更多>>
相关领域：自然科学总论更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自然科学总论

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇非稳态
  • 1篇AIN

机构

  • 1篇广西大学
  • 1篇东京工业大学

作者

  • 1篇王宝棣
  • 1篇马佳

传媒

  • 1篇广西大学学报...

年份

  • 1篇1993
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
反应溅射法制作AIN膜的组织结构及表面状态
1993年
采用对向阴极型溅射法制备AIN薄膜,研究了在不同全压力条件下,Ar％含量对AIN膜的结晶形态、晶体结构、表面状态、硬度和表面粗糙度的影响。在不同全压力条件下都有一个At％变化范围很窄的非稳态区,在非稳态区内,AIN膜的性能和晶体结构都发生激烈的变化。因此。Ar％小于非稳态区含量时,可制得透明的优质AIN膜。
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关键词：溅射
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共1页<1>
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