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周觅

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇铜互连
  • 1篇籽晶
  • 1篇阻挡层
  • 1篇扩散阻挡层
  • 1篇互连
  • 1篇TAN
  • 1篇钌
  • 1篇RU

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇茹国平
  • 1篇谭晶晶
  • 1篇屈新萍
  • 1篇谢琦
  • 1篇陈韬
  • 1篇周觅

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
超薄Ru/TaN双层薄膜作为无籽晶铜互连扩散阻挡层
2006年
研究了钌(Ru)/氮化钽(TaN)双层结构对铜的扩散阻挡特性,在Si(100)衬底上用离子束溅射的方法沉积了超薄Ru/TaN以及Cu/Ru/TaN薄膜,在高纯氮气保护下对样品进行快速热退火,用X射线衍射、四探针以及电流-时间测试等表征手段研究了Ru/TaN双层结构薄膜的热稳定性和对铜的扩散阻挡特性.同时还对Ru/TaN结构上的铜进行了直接电镀.实验结果表明Ru/TaN双层结构具有优良的热稳定性和扩散阻挡特性,在无籽晶铜互连工艺中有较好的应用前景.
谭晶晶周觅陈韬谢琦茹国平屈新萍
关键词：钌铜互连扩散阻挡层
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