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褚波

作品数：8 被引量：3H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：一般工业技术理学文化科学金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 6篇原子层沉积
  • 3篇温度控制
  • 2篇致密
  • 2篇喷头
  • 2篇镂空
  • 2篇温度
  • 2篇温度控制装置
  • 2篇金属制品
  • 2篇进气
  • 2篇进气管
  • 2篇进气管路
  • 2篇可拆卸
  • 2篇控制装置
  • 2篇化学反应
  • 2篇基片
  • 2篇基片温度
  • 2篇管路
  • 2篇保护方法
  • 1篇油污
  • 1篇原子

机构

  • 8篇华中科技大学

作者

  • 8篇褚波
  • 7篇陈蓉
  • 6篇单斌
  • 6篇文艳伟
  • 5篇何文杰
  • 2篇段晨龙

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
原子层沉积系统温度特性的研究
原子层沉积（ALD）技术是近年来逐渐兴起的薄膜制造技术，ALD技术由于其生长的过程具有自限制性，沉积的薄膜厚度均匀、成分可控、且保形性良好。温度作为原子层沉积的重要工艺参数之一，系统温度必须满足温度窗口的需求，才能获得可...
褚波
关键词：原子层沉积温度控制
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适...
陈蓉褚波何文杰高玉乐单斌文艳伟
文献传递
一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结...
陈蓉何文杰褚波高玉乐单斌文艳伟
文献传递
一种金属物品表面保护方法
本发明公开了一种金属制品表面保护方法，包括：对待保护的金属制品表面进行清理、除油污、清洁和修复的预处理步骤；将上述预处理步骤处理后的金属制品置于原子层沉积设备中，并用载气对表面进行吹洗，同时利用真空泵对原子层沉积设备进行...
陈蓉段晨龙褚波单斌文艳伟
空间隔离原子层沉积系统的研究被引量：3
2015年
原子层沉积(ALD)技术制备的薄膜在纳米尺度精确可控,并且各处薄膜厚度具有良好的均匀性。空间隔离原子层沉积(SALD)相比于时间隔离ALD技术,此工艺更易实现大面积基底沉积和连续沉积。由于SALD技术巨大的应用前景,关于SALD技术的研究成为ALD技术研究的热点之一。本文介绍了实验室自主设计搭建的SALD系统平台,以Al2O3生长评估SALD系统,实现Al2O3薄膜线性生长。并对反应温度、基底与前驱体喷头间距这两个重要的工艺参数进行了研究。SALD沉积实验表明,减小基底表面温度波动可以提高薄膜的微观形貌质量。同时,前驱体进气喷头与基底之间的距离会强烈影响基底表面的前驱体压力和前驱体间隔离效果,进而影响薄膜生长。为平衡薄膜生长均匀性和系统密封性的要求,需要选择最优的间距值。
褚波何文杰高玉乐陈蓉
关键词：原子层沉积温度
一种金属物品表面保护方法
本发明公开了一种金属制品表面保护方法，包括：对待保护的金属制品表面进行清理、除油污、清洁和修复的预处理步骤；将上述预处理步骤处理后的金属制品置于原子层沉积设备中，并用载气对表面进行吹洗，同时利用真空泵对原子层沉积设备进行...
陈蓉段晨龙褚波单斌文艳伟
文献传递
一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结...
陈蓉何文杰褚波高玉乐单斌文艳伟
文献传递
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适...
陈蓉褚波何文杰高玉乐单斌文艳伟
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