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游天桂

作品数：141 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺理学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 136篇专利
  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 57篇电子电信
  • 9篇金属学及工艺
  • 2篇理学
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 51篇衬底
  • 46篇键合
  • 45篇缺陷层
  • 36篇半导体
  • 30篇单晶
  • 21篇退火
  • 19篇晶圆
  • 18篇氧化镓
  • 14篇导体
  • 14篇损伤层
  • 13篇激光
  • 12篇退火处理
  • 12篇离子
  • 12篇半导体结构
  • 11篇氮化镓
  • 11篇碳化硅
  • 10篇单晶薄膜
  • 10篇刻蚀
  • 9篇热应力
  • 9篇离子束

机构

  • 141篇中国科学院
  • 1篇南京大学
  • 1篇西安电子科技...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 141篇欧欣
  • 141篇游天桂
  • 47篇黄凯
  • 36篇王曦
  • 12篇贾棋
  • 9篇黄浩
  • 5篇王庶民
  • 5篇高波
  • 5篇王镇
  • 3篇龚谦
  • 2篇王长
  • 2篇潘文武
  • 1篇张荣
  • 1篇郝跃
  • 1篇叶建东
  • 1篇韩根全

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇科学通报

年份

  • 13篇2024
  • 24篇2023
  • 12篇2022
  • 25篇2021
  • 41篇2020
  • 10篇2019
  • 5篇2018
  • 7篇2017
  • 4篇2016
共 141 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种氧化镓半导体结构及其制备方法
本发明涉及一种氧化镓半导体结构的制备方法，包括提供具有注入面的氧化镓单晶晶片；从注入面向氧化镓单晶晶片进行离子注入，使得注入离子到达预设深度并在预设深度处形成注入缺陷层；将注入面与高热导率衬底键合，得到第一复合结构；对第...
欧欣游天桂徐文慧郑鹏程黄凯王曦
文献传递
一种薄膜异质结构的制备方法
本发明提供一种薄膜异质结构的制备方法，包括步骤：提供晶圆衬底，具有注入面；自注入面对晶圆衬底进行离子注入，于晶圆衬底内的预设深度处形成注入缺陷层；提供支撑衬底，将支撑衬底及晶圆衬底进行升温键合；对得到的结构进行退火处理，...
欧欣黄凯鄢有泉游天桂王曦
文献传递
利用薄膜转移技术制备薄膜体声波器件的方法
本发明提供一种利用薄膜转移技术制备薄膜体声波器件的方法，包括：1）提供氧化物单晶衬底；2）自注入面向所述氧化物单晶衬底内进行离子注入，而后在注入面形成下电极；或在注入面形成下电极，而后自注入面向氧化物单晶衬底内进行离子注...
欧欣黄凯贾棋张师斌游天桂王曦
文献传递
一种铌酸锂自支撑薄膜及其制备方法
本发明公开了一种铌酸锂自支撑薄膜的制备方法，包括：获取具有抛光面的铌酸锂单晶晶片；获取高阻衬底，并在所述高阻衬底上沉积一层介电层；在所述介电层的表面刻蚀沟槽；将所述铌酸锂单晶晶片的所述抛光面与所述介电层具有所述沟槽的表面...
欧欣徐文慧游天桂沈正浩
异质键合结构及制备方法
本发明提供一种异质键合结构及制备方法，通过对异质衬底进行离子注入与退火，在异质衬底中形成结构松散层，以容纳亲水性键合过程中界面处产生的水汽，以及离子束剥离与转移工艺中键合界面处的离子和气体分子，解决了亲水性键合过程中键合...
欧欣瞿振宇游天桂徐文慧
一种Si基InGaAs光电探测器的制备方法及光电探测器
本发明公开了一种Si基InGaAs光电探测器的制备方法，包括以下步骤：获取III‑V族化合物半导体衬底；在所述III‑V族化合物半导体衬底上生长厚度为200纳米‑400纳米的相应的牺牲层；在所述牺牲层上生长厚度为30纳米...
欧欣池超旦林家杰游天桂
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一种氮化铝声波谐振器的制备方法及谐振器
本发明涉及声波谐振器制备技术领域，特别涉及一种氮化铝声波谐振器的制备方法及谐振器。方法包括：获取氮化铝单晶晶片；对氮化铝单晶晶片进行离子注入，得到离子注入氮化铝单晶晶片；获取支撑衬底；将离子注入氮化铝单晶晶片与支撑衬底键...
欧欣石航宁张师斌游天桂郑鹏程
一种激光器结构的制备方法及其结构
本申请公开一种激光器结构的制备方法及其结构，包括对第一衬底结构进行刻蚀处理，得到待制备绝缘结构的待生长区域，对绝缘结构进行刻蚀处理，得到波导结构，波导结构与第三衬底层连接设置，波导结构与第一衬底层间隔设置，且与第二衬底层...
欧欣孙嘉良林家杰游天桂
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基于单晶压电薄膜的声波谐振器及其制备方法
本发明提供一种基于单晶压电薄膜的声波谐振器及其制备方法，包括：1）提供单晶压电衬底；2）自注入面向单晶压电衬底内进行离子注入后于注入面形成图形化下电极，或在注入面形成均匀下电极，自均匀下电极面向单晶压电衬底内进行离子注入...
欧欣张师斌黄凯游天桂王曦
文献传递
一种异质半导体薄膜及其制备方法
本发明公开了一种异质半导体薄膜的制备方法，包括：获取具有第一抛光面的半导体单晶晶片；获取具有第二抛光面的异质衬底；在半导体单晶晶片的第一抛光面上沉积一层缓冲层后构成第一复合结构；向半导体单晶晶片注入阻挡层离子后形成阻挡层...
欧欣徐文慧游天桂沈正浩
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